[發明專利]檢測X射線的光電二極管及其制造方法

有效

• 申請號: 201010228225.4
• 申請日: 2010-07-08
• 公開（公告）號: CN102096089A
• 公開（公告）日: 2011-06-15
• 發明（設計）人: 李種文;金永植;金周漢;曹在亨
• 申請（專利權）人: 樂金顯示有限公司
• 主分類號: G01T1/24
• 分類號: G01T1/24;H01L21/82;H01L31/115;H01L31/18
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;鐘強

1.一種x射線檢測面板，包括：

基板；

布置成彼此交叉并限定像素區的柵極線和讀出線；

設置在所述柵極線和所述讀出線處的開關元件；以及

設置在所述像素區中并包括順序層疊的第一電極、光電導體層和第二電極的光電二極管，

其中，所述第一電極沿著所述光電導體層和所述第二電極的周邊向外延伸。

2.根據權利要求1所述的x射線檢測面板，其中所述光電二極管按照從所述第一電極到所述光電導體層和所述第二電極逐漸減小面積的方式來形成。

3.根據權利要求1所述的x射線檢測面板，其中所述第一電極和所述第二電極分別用作陰極電極和陽極電極。

4.根據權利要求1所述的x射線檢測面板，還包括與所述讀出線平行設置并用來把偏壓傳輸給所述光電二極管的電源線。

5.根據權利要求1所述的x射線檢測面板，其中所述第二電極由透明導電材料形成。

6.一種制造x射線檢測面板的方法，包括：

在基板上形成包括柵極線、柵極電極、有源層以及源極電極和漏極電極的開關元件；

形成與所述開關元件電連接的光電二極管，形成所述光電二極管的步驟包括：

形成與所述開關元件的漏極電極電連接的第一電極；

在所述第一電極上并以比所述第一電極窄的面積形成光電導體層；以及

在所述光電導體層上并以比所述光電導體層窄的面積形成第二電極。

7.根據權利要求6所述的方法，還包括在具有所述光電二極管的基板上形成電源線，所述電源線與所述光電二極管的第二電極電連接。

8.根據權利要求6所述的方法，其中，所述光電二極管的第一電極形成為從所述光電導體層和所述第二電極的邊緣向外暴露。

9.一種x射線檢測光電二極管，包括：

基板；

在所述基板上形成的第一電極；

在所述第一基板上以比所述第一電極窄的面積形成的光電導體層；以及

在所述光電導體層上形成的第二電極。

10.根據權利要求9所述的x射線檢測光電二極管，其中所述第二電極以比所述光電導體層窄的面積形成。

11.根據權利要求9所述的x射線檢測光電二極管，其中所述第一電極和所述第二電極分別用作陰極電極和陽極電極。

12.根據權利要求9所述的x射線檢測光電二極管，還包括與所述讀出線平行設置并用來傳輸偏壓的電源線。

13.根據權利要求9所述的x射線檢測光電二極管，其中所述第二電極由透明導電材料形成。

14.一種制造x射線檢測光電二極管的方法，包括：

制備基板；

在基板上形成第一電極；

在所述第一電極上以比所述第一電極窄的面積形成光電導體層；以及

在所述光電導體層上形成第二電極。

15.根據權利要求14所述的方法，還包括形成與所述第二電極連接的電源線。

16.根據權利要求14所述的方法，其中所述第一電極形成為從所述光電導體層和所述第二電極的邊緣向外露出。