[發明專利]一種光子篩無效
| 申請號： | 201010227193.6 | 申請日： | 2010-07-07 |
| 公開（公告）號： | CN102313918A | 公開（公告）日： | 2012-01-11 |
| 發明（設計）人： | 謝常青;潘一鳴;朱效立;劉明 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | G02B5/18 | 分類號： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 周國城 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光子 | ||
【權利要求書】：
1.一種光子篩，包括透光襯底和鍍在該透光襯底上的不透光金屬薄膜，其特征在于，所述不透光金屬薄膜上分布有多個透光圓孔，所述圓孔呈環帶狀分布。
2.根據權利要求1所述的光子篩，其特征在于，所述環帶半徑為rm、環帶寬度為wm，其中：
rm2＝2mfλ+m2λ2；
對應rm上的透光圓孔的直徑為：
其中λ為波長，f為焦距，m為圓孔所在環帶的環數，最內環為第一環。
3.根據權利要求2所述的光子篩，其特征在于，所述透光襯底采用的材料為透光材料。
4.根據權利要求3所述的光子篩，其特征在于，所述透光材料為熔融石英、普通玻璃或有機玻璃。
5.根據權利要求1所述的光子篩，其特征在于，所述不透光金屬薄膜采用的材料為鉻、金、鋁或銅。
6.根據權利要求5所述的光子篩，其特征在于，所述不透光金屬薄膜的厚度大于60nm。
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