[發(fā)明專利]一種用于超高真空環(huán)境下正弦機構(gòu)標定裝置及方法

無效

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• 申請日: 2010-07-12
• 公開（公告）號: CN101907452A
• 公開（公告）日: 2010-12-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 盧啟鵬;馬磊;彭忠琦
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01B11/26
• 分類號: G01B11/26;G02B7/18
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務(wù)所 22210
• 代理人: 張偉

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及正弦機構(gòu)標定領(lǐng)域，特別是一種用于超高真空環(huán)境下正弦機構(gòu)標定裝置及方法。

背景技術(shù)

在各類科學(xué)工程中，如大型同步輻射光束線系統(tǒng)中，在超高真空環(huán)境下正弦機構(gòu)的標定是實現(xiàn)角度轉(zhuǎn)動部件的關(guān)鍵技術(shù)。以往在大氣中已標定的正弦機構(gòu)，工作在超高真空環(huán)境下時，由壓力等因素所致，造成標定結(jié)果發(fā)生改變，降低工作質(zhì)量。由于缺少在超高真空環(huán)境下對正弦機構(gòu)進行實時監(jiān)測、標定的方法和裝置，上述問題并沒有得到很好的解決。因此，研制出能在超高真空環(huán)境下對正弦機構(gòu)進行實時監(jiān)測、標定的方法和裝置勢在必行。

發(fā)明內(nèi)容

針對上述情況，為解決現(xiàn)有技術(shù)之缺陷，本發(fā)明的目的就在于提供一種用于超高真空環(huán)境下正弦機構(gòu)標定裝置及方法，可以有效解決在超真空環(huán)境下不能對正弦機構(gòu)進行實時監(jiān)測和標定的問題。

本發(fā)明解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種用于超高真空環(huán)境下正弦機構(gòu)標定裝置包括高精度光電自準直儀、自準直儀支架、多面體角棱鏡、棱鏡架、正弦機構(gòu)、真空鏡箱和支撐平臺，高精度光電自準直儀裝在自準直儀支架上，其發(fā)光孔對準真空鏡箱上的觀察窗，真空鏡箱放置在支撐平臺上，正弦機構(gòu)裝在真空鏡箱里面，多面體角棱鏡通過棱鏡架固定在正弦機構(gòu)的正弦桿的一端，多面體角棱鏡的第一棱鏡面垂直高精度光電自準直儀軸線，高精度光電自準直儀放置在真空鏡箱的外面，所說的多面體角棱鏡的第二棱鏡面與第一棱鏡面之間、第三棱鏡面與第二棱鏡面之間、第四棱鏡面與第三棱鏡面之間均相差兩度角。

本發(fā)明的用于超高真空環(huán)境下正弦機構(gòu)標定裝置的應(yīng)用方法，具體步驟如下：

1)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)臺，使光電自準直儀發(fā)出的平行光垂直照射多面體角棱鏡第一棱鏡面，即高精度光電自準直儀讀數(shù)為“0”；

2)通過精密滑臺組件的驅(qū)動機構(gòu)，推動正弦桿轉(zhuǎn)動，帶動多面體角棱鏡旋轉(zhuǎn)，當平行光垂直照射在角棱鏡第二棱鏡面時，正弦桿轉(zhuǎn)過角度即為多面體角棱鏡所標定的角度α₁，同時記錄高精度光電自準直儀讀數(shù)及相應(yīng)的線性編碼器測量的直線位移h₁，完成第1個角度的測量；

3)繼續(xù)轉(zhuǎn)動正弦桿，當高精度光電自準直儀發(fā)出的平行光分別垂直照射在多面體角棱鏡的第三棱鏡面、第四棱鏡面時，正弦桿轉(zhuǎn)過α₂、α₃角，記錄各自的自準直儀讀數(shù)及相應(yīng)的線性編碼器測量的直線位移h₂、h₃，完成第2、第3個角度的測量；至此，已完成的3個角度的測量，作為一組單向測量；

4)重復(fù)上述步驟，完成多組測量；

5)角度測量完成后，通過轉(zhuǎn)動角度a與直線位移h及正弦機構(gòu)桿長L之間的關(guān)系式：結(jié)合實際角度α₁、α₂、α₃及直線位移h₁、h₂、h₃得如下方程組：

a1=arcsin(h1+h0L)-a0---(1)]]>