[發(fā)明專利]一種取像裝置與方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010221921.2
• 申請(qǐng)日: 2010-07-05
• 公開（公告）號(hào): CN102313524A
• 公開（公告）日: 2012-01-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林裕軒;潘世耀;宋新岳;張維哲;簡(jiǎn)宏達(dá)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 致茂電子(蘇州)有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/24
• 分類號(hào): G01B11/24;G01N21/88
• 代理公司: 北京律誠(chéng)同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;祁建國(guó)

1.一種取像裝置，用以對(duì)一待測(cè)物進(jìn)行掃描，其特征在于，該取像裝置包含：

一光源，用以發(fā)射一照射光束；

一第一分光組件，用以反射該照射光束；

一顯微物鏡組，設(shè)置于該待測(cè)物的上方，包含一反射參考面，并用以將該照射光束調(diào)制成一量測(cè)光束與一參考光束，該量測(cè)光束投射至該待測(cè)物的表面，并產(chǎn)生反射至該顯微物鏡組的第一反射光束，該參考光束投射至該反射參考面，并產(chǎn)生反射至該顯微物鏡組的第二反射光束，且該第一反射光束與該第二反射光束合成一穿透該第一分光組件的工作光束；

一第二分光組件，設(shè)置于該第一分光組件的上方，用以將該工作光束分成一第一子光束與一第二子光束；

一單色圖像感測(cè)裝置，設(shè)置于該第一子光束的行進(jìn)路線上，以接收該第一子光束，并在該第一子光束的一第一干涉區(qū)域內(nèi)，擷取一單色干涉圖像；以及

一圖像感測(cè)裝置，設(shè)置于該第二子光束的行進(jìn)路線上，以接收該第二子光束，并在該第二子光束的一第二干涉區(qū)域外，擷取一無(wú)干涉圖像。

2.如權(quán)利要求1所述的取像裝置，其特征在于，還包含一致動(dòng)器，該致動(dòng)器耦接于該顯微物鏡組。

3.如權(quán)利要求1所述的取像裝置，其特征在于，還包含一反射組件，用以將該第二分光組件所分出的該第二子光束反射至該圖像感測(cè)裝置。

4.如權(quán)利要求1所述的取像裝置，其特征在于，該圖像感測(cè)裝置具有一延伸環(huán)，以調(diào)整該圖像感測(cè)裝置的取像焦點(diǎn)。

5.如權(quán)利要求1所述的取像裝置，其特征在于，該圖像感測(cè)裝置為一單色圖像感測(cè)裝置與一彩色圖像感測(cè)裝置中的任意一者。

6.一種取像方法，利用如權(quán)利要求1所述的取像裝置對(duì)該待測(cè)物進(jìn)行相對(duì)位置掃描，其特征在于，該取像方法包括以下步驟：

將該顯微物鏡組依序移動(dòng)至多個(gè)掃描位置；

由該單色圖像感測(cè)裝置接收該第一子光束，以對(duì)應(yīng)該掃描位置而得到該待測(cè)物一序列的單色干涉圖像；

由該圖像感測(cè)裝置接收該第二子光束，以對(duì)應(yīng)該掃描位置而得到該待測(cè)物一序列的無(wú)干涉圖像；

對(duì)該序列的單色干涉圖像進(jìn)行一表面輪廓還原運(yùn)算，以得到該待測(cè)物的一單色立體輪廓圖像；

對(duì)該序列的無(wú)干涉圖像進(jìn)行一清晰度聚焦運(yùn)算，將該序列的無(wú)干涉圖像中的多個(gè)清晰部份擷取出，以合成一平面清晰圖像。

7.如權(quán)利要求6所述的取像方法，其特征在于，當(dāng)該圖像感測(cè)裝置為一彩色圖像感測(cè)裝置時(shí)，該取像方法還包括自該平面清晰圖像擷取一顏色-位置信息，并利用該顏色-位置信息對(duì)該單色立體輪廓圖像進(jìn)行一顏色套用運(yùn)算，以得到一彩色立體輪廓圖像。