[發(fā)明專利]光學元件及其制造方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010218320.6 | 申請日： | 2010-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN101937109A | 公開（公告）日： | 2011-01-05 |
| 發(fā)明（設計）人： | 高橋通人;宮崎直 | 申請（專利權）人： | 旭硝子株式會社 |
| 主分類號： | G02B1/10 | 分類號： | G02B1/10 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 | 代理人： | 王海川;穆德駿 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光學 元件 及其 制造 方法 | ||
1.一種光學元件，具有包含磷酸玻璃或氟磷酸玻璃的光學玻璃以及在所述光學玻璃的表面形成的光學功能膜，其中，
所述光學功能膜包含以不同材質形成的兩層以上的膜，
所述光學功能膜的最表面層由與磷酸的反應性低的物質形成。
2.如權利要求1所述的光學元件，其中，所述光學功能膜的最表面層為氧化物膜。
3.如權利要求2所述的光學元件，其中，所述氧化物膜包含選自由SiO2、Al2O3、Y2O3、La2O3、HfO2、Ta2O5、TiO2、ZrO2和Nb2O5構成的組中的至少一種材質。
4.如權利要求1至3中任一項所述的光學元件，其中，所述光學功能膜的最表面層的膜厚為5nm以上且450nm以下。
5.一種光學元件的制造方法，在包含磷酸玻璃或氟磷酸玻璃的光學玻璃的表面形成光學功能膜，所述光學功能膜通過將以不同材質形成的兩層以上的膜依次層疊而形成，其中，
由與磷酸的反應性低的物質形成所述光學功能膜的最表面層。
6.如權利要求5所述的光學元件的制造方法，其中，通過使用電子槍蒸發(fā)源的真空蒸鍍成膜法形成所述光學功能膜。
7.如權利要求6所述的光學元件的制造方法，其中，通過使用電子槍蒸發(fā)源的等離子體輔助或離子輔助蒸鍍成膜法形成所述光學功能膜。
8.如權利要求5所述的光學元件的制造方法，其中，通過濺射成膜法形成所述光學功能膜。
9.如權利要求5至8中任一項所述的光學元件的制造方法，其中，所述包含磷酸玻璃或氟磷酸玻璃的光學玻璃，通過將光學玻璃成型材料加熱軟化并利用成型模具進行模壓而得到。
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