[發明專利]一種紫外激光fθ鏡頭、激光打標機及激光刻劃機

有效

• 申請號: 201010214093.X
• 申請日: 2010-06-29
• 公開（公告）號: CN102313968A
• 公開（公告）日: 2012-01-11
• 發明（設計）人: 李家英;周朝明;高云峰
• 申請（專利權）人: 深圳市大族激光科技股份有限公司
• 主分類號: G02B13/14
• 分類號: G02B13/14;G02B13/06;B41J2/435;B44B3/00;B23K26/38
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 張全文

1.一種紫外激光fθ鏡頭，包括：沿光線入射方向依次設置的第一透鏡、第二透鏡和第三透鏡，所述第一透鏡、第二透鏡和第三透鏡位于同一光軸上，其特征在于，所述第一透鏡為曲面向著光線入射方向彎曲的彎月型負透鏡，所述第二透鏡為曲面向著光線入射方向彎曲的彎月型正透鏡，所述第三透鏡為曲面向著光線入射方向彎曲的彎月型正透鏡；當波長為355nm的紫外激光經所述fθ鏡頭聚焦，其焦距f為580mm，入瞳直徑D為12mm，視場角2ω為70°，工作面積A為500*500mm²。

2.如權利要求1所述的紫外激光fθ鏡頭，其特征在于，所述第一透鏡具有第一曲面S1和第二曲面S2，所述第一曲面S1的曲率半徑R1的期望值為-64mm，所述第二曲面S2的曲率半徑R2的期望值為-190mm；所述第二透鏡具有第三曲面S3和第四曲面S4，所述第三曲面S3的曲率半徑R3的期望值為-126mm，所述第四曲面S4的曲率半徑R4的期望值為-74mm；所述第三透鏡具有第五曲面S5和第六曲面S6，所述第五曲面S5的曲率半徑R5的期望值為-900mm，所述第六曲面S6的曲率半徑R6的期望值為-180mm；各曲率半徑的公差均不超過各自期望值的5％。

3.如權利要求2所述的紫外激光fθ鏡頭，其特征在于，所述第一透鏡在光軸上的中心厚度d1的期望值為5mm，所述第二透鏡在光軸上的中心厚度d3的期望值為8mm，所述第三透鏡在光軸上的中心厚度d5的期望值為8mm；各中心厚度的公差均不超過各自期望值的5％。

4.如權利要求3所述的紫外激光fθ鏡頭，其特征在于，所述第一透鏡的材料Nd1∶Vd1的期望值為1.5/70，其中Nd1表示第一透鏡的材料在波長λ＝355nm的d線處的折射率，Vd1表示第一透鏡的材料在波長λ＝355nm的d線處的阿貝數；所述第二透鏡的材料Nd2∶Vd2的期望值為1.6/41，其中Nd2表示第二透鏡的材料在波長λ＝355nm的d線處的折射率，Vd2表示第二透鏡的材料在波長λ＝355nm的d線處的阿貝數；所述第三透鏡的材料Nd3∶Vd3的期望值為1.6/41，其中Nd3表示第三透鏡的材料在波長λ＝355nm的d線處的折射率，Vd3表示第三透鏡的材料在波長λ＝355nm的d線處的阿貝數；各透鏡的材料的公差均不超過各自期望值的5％。

5.如權利要求4所述的紫外激光fθ鏡頭，其特征在于，所述第二曲面S2與第三曲面S3的面間隔d2的期望值為3mm，所述第四曲面S4與第五曲面S5的面間隔d4的期望值為0.5mm，各面間隔的公差均不超過各自期望值的5％。

6.一種激光打標機，其特征在于，所述激光打標機具有如權利要求1～5任一項所述的紫外激光fθ鏡頭。

7.一種激光刻劃機，其特征在于，所述激光刻劃機具有如權利要求1～5任一項所述的紫外激光fθ鏡頭。

8.一種激光切割機，其特征在于，所述激光切割機具有如權利要求1～5任一項所述的紫外激光fθ鏡頭。