[發(fā)明專利]聚焦鏡組及激光加工應(yīng)用光學(xué)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010211576.4
• 申請(qǐng)日: 2010-06-25
• 公開（公告）號(hào): CN101893751A
• 公開（公告）日: 2010-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李家英;周朝明;高云峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市大族激光科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G02B13/14
• 分類號(hào): G02B13/14;G02B13/18;B23K26/00
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 何平

1.一種聚焦鏡組，其特征在于，包括沿紫外激光入射方向于光軸上依次放置的聚焦鏡組第一透鏡、聚焦鏡組第二透鏡、聚焦鏡組第三透鏡、聚焦鏡組第四透鏡以及聚焦鏡組第五透鏡，所述聚焦鏡組第一透鏡與聚焦鏡組第二透鏡均為彎月型透鏡，且曲面均朝向紫外激光出射方向彎曲；所述聚焦鏡組第三透鏡與聚焦鏡組第四透鏡為雙凸型透鏡；所述聚焦鏡組第五透鏡為雙凹型透鏡，所述聚焦鏡組的焦距為30mm，入瞳直徑為15mm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聚焦鏡組，其特征在于，所述聚焦鏡組對(duì)波長(zhǎng)為355nm與532nm的兩種波長(zhǎng)的光束消色差。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聚焦鏡組，其特征在于，所述聚焦鏡組第一透鏡由第七曲面和第八曲面構(gòu)成，曲率半徑分別為-13.2±5％mm和-25±5％mm，光軸上中心間隔為2.5±5％mm，折射率/色散系數(shù)為1.6/41，誤差為±5％；

所述聚焦鏡組第二透鏡由第九曲面和第十曲面構(gòu)成，曲率半徑分別為-260±5％mm和-18.4±5％mm，光軸上中心間隔為3.2±5％mm，折射率/色散系數(shù)為1.5/70，誤差為±5％；

所述聚焦鏡組第三透鏡由第十一曲面和第十二曲面構(gòu)成，曲率半徑分別為30±5％mm和-60±5％mm，光軸上中心間隔為3±5％mm，折射率/色散系數(shù)為1.5/70，誤差為±5％；

所述聚焦鏡組第四透鏡由第十三曲面和第十四曲面構(gòu)成，曲率半徑分別為31±5％mm和-71±5％，光軸上中心間隔為2.8±5％mm，折射率/色散系數(shù)為1.5/70，誤差為±5％；

所述聚焦鏡組第五透鏡由第十五曲面和第十六曲面構(gòu)成，曲率半徑分別為-39±5％mm和39±5％mm，光軸上中心間隔為1.6±5％mm，折射率/色散系數(shù)為1.6/41，誤差為±5％。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的聚焦鏡組，其特征在于，所述第八曲面與所述第九曲面光軸上中心間隔為0.2±5％mm；所述第十曲面與所述第十一曲面光軸上中心間隔為0.2±5％mm；所述第十二曲面與所述第十三曲面光軸上中心間隔為0.2±5％mm；所述第十四曲面與所述第十五曲面光軸上中心間隔為1±5％mm。

5.一種激光加工應(yīng)用光學(xué)系統(tǒng)，包括激光加工系統(tǒng)和激光監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述激光加工系統(tǒng)和激光監(jiān)控系統(tǒng)共用一個(gè)聚焦鏡組，所述聚焦鏡組包括沿紫外激光入射方向于光軸上依次放置的聚焦鏡組第一透鏡、聚焦鏡組第二透鏡、聚焦鏡組第三透鏡、聚焦鏡組第四透鏡以及聚焦鏡組第五透鏡，所述聚焦鏡組第一透鏡與聚焦鏡組第二透鏡均為彎月型透鏡，且曲面均朝向紫外激光出射方向彎曲；所述聚焦鏡組第三透鏡與聚焦鏡組第四透鏡為雙凸型透鏡；所述聚焦鏡組第五透鏡為雙凹型透鏡，所述聚焦鏡組的焦距為30mm，入瞳直徑為15mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光加工應(yīng)用光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述聚焦鏡組第一透鏡由第七曲面和第八曲面構(gòu)成，曲率半徑分別為-13.2±5％mm和-25±5％mm，光軸上中心間隔為2.5±5％mm，折射率/色散系數(shù)為1.6/41，誤差為±5％；

所述聚焦鏡組第二透鏡由第九曲面和第十曲面構(gòu)成，曲率半徑分別為-260±5％mm和-18.4±5％mm，光軸上中心間隔為3.2±5％mm，折射率/色散系數(shù)為1.5/70，誤差為±5％；

所述聚焦鏡組第三透鏡由第十一曲面和第十二曲面構(gòu)成，曲率半徑分別為30±5％mm和-60±5％mm，光軸上中心間隔為3±5％mm，折射率/色散系數(shù)為1.5/70，誤差為±5％；

所述聚焦鏡組第四透鏡由第十三曲面和第十四曲面構(gòu)成，曲率半徑分別為31±5％mm和-71±5％，光軸上中心間隔為2.8±5％mm，折射率/色散系數(shù)為1.5/70，誤差為±5％；

所述聚焦鏡組第五透鏡由第十五曲面和第十六曲面構(gòu)成，曲率半徑分別為-39±5％mm和39±5％mm，光軸上中心間隔為1.6±5％mm，折射率/色散系數(shù)為1.6/41，誤差為±5％。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光加工應(yīng)用光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述第八曲面與所述第九曲面光軸上中心間隔為0.2±5％mm；所述第十曲面與所述第十一曲面光軸上中心間隔為0.2±5％mm；所述第十二曲面與所述第十三曲面光軸上中心間隔為0.2±5％mm；所述第十四曲面與所述第十五曲面光軸上中心間隔為1±5％mm。