[發明專利]潘寧放電離子源柔性材料真空鍍膜機

有效

• 申請號: 201010210467.0
• 申請日: 2010-06-25
• 公開（公告）號: CN101886253A
• 公開（公告）日: 2010-11-17
• 發明（設計）人: 祝寧
• 申請（專利權）人: 合肥科燁電物理設備制造有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/503
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種潘寧放電離子源柔性材料真空鍍膜機，包括電極、磁路、收卷輥、放卷輥、換向輥、張緊輥、真空系統、雙向進給控制單元、進氣管和電源組成，所述真空系統主要由真空室構成，其特征在于：在所述真空室內設置兩組對稱的電極結構和磁路結構，相鄰兩電極之間形成磁場，且電極、磁路和進氣管沿真空室軸線的上下對稱布置，在高頻放電的作用下，將電子離化率提高到較高水平。

2.根據權利要求1所述潘寧放電離子源柔性材料真空鍍膜機，其特征在于：所述磁路設置的數量為兩個，電極設置的數量為四個，每兩個電極均勻的分布在一個磁路的兩側。

3.根據權利要求1所述潘寧放電離子源柔性材料真空鍍膜機，其特征在于：所述真空鍍膜機可連接小機械泵和DN150的分子泵，建立所需1x10-3Pam3/s的低真空，去除反應副產品，將廢氣通過機械泵排出。

4.根據權利要求1所述潘寧放電離子源柔性材料真空鍍膜機，其特征在于：所述兩組電極結構的內部，通過四組旋轉接頭，設計四套水冷卻回路。