[發明專利]鋁氧化鋁雙層膜電熱微驅動器

無效

• 申請號: 201010209974.2
• 申請日: 2010-06-26
• 公開（公告）號: CN101885464A
• 公開（公告）日: 2010-11-17
• 發明（設計）人: 汪紅;毛勝平;吳義伯;丁桂甫;劉啟發;蘇永其
• 申請（專利權）人: 上海交通大學
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;F03G7/06
• 代理公司: 上海交達專利事務所 31201
• 代理人: 王錫麟;王桂忠

1.一種鋁氧化鋁雙層膜電熱微驅動器，包括：基底、下置空腔、基座、電極、下置電阻絲、鋁翹曲功能層和氧化鋁牽制層，其特征在于：鋁翹曲功能層的末端與基座相連，另一端懸空，氧化鋁牽制層位于鋁翹曲功能層上方且兩者緊密結合形成雙層膜結構，基座固定設置于基底上，電極與下置電阻絲相連，下置電阻絲位于下置空腔上方并與基底懸空，所述的下置空腔為基底上刻蝕制成的矩形結構。

2.根據權利要求1所述的鋁氧化鋁雙層膜電熱微驅動器，其特征是，所述的基底是石英玻璃基底或者硅基底。

3.根據權利要求1所述的鋁氧化鋁雙層膜電熱微驅動器，其特征是，所述的下置電阻絲是等間距排布的金屬鎳條陣列，所述的金屬鎳條的長度為300-600微米，寬度為5-30微米，厚度為2-5微米，條間距為10-30微米。

4.根據權利要求1所述的鋁氧化鋁雙層膜電熱微驅動器，其特征是，所述的鋁翹曲功能層是伸出懸空的懸臂梁結構，長為300-600微米，寬為200-500微米，厚度為5-10微米。

5.根據權利要求1所述的鋁氧化鋁雙層膜電熱微驅動器，其特征是，所述的氧化鋁牽制層是通過對鋁膜陽極氧化形成，該氧化鋁牽制層的厚度為2-5微米。

6.根據權利要求1所述的鋁氧化鋁雙層膜電熱微驅動器，其特征是，所述的鋁翹曲功能層為T字形結構。

7.根據權利要求1所述的鋁氧化鋁雙層膜電熱微驅動器，其特征是，所述的基座為金屬塊或SU8膠制成的厚膜結構，其高度為5-10微米。