[發明專利]輕便型面接觸式防污石英舟

無效

• 申請號: 201010209487.6
• 申請日: 2010-06-18
• 公開（公告）號: CN101969085A
• 公開（公告）日: 2011-02-09
• 發明（設計）人: 劉志剛;陳鑫
• 申請（專利權）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 周祥生

1.一種輕便型面接觸式防污石英舟，其特征是：包括兩根水平設置的上石英分隔擋桿(1)、兩根水平設置的下石英分隔擋桿(2)、左U形連接件(3)、中間U形連接件(4)、右U形連接件(5)、把手(6)和防污擋板(7)，中間U形連接件(4)設置在左U形連接件(3)和右U形連接件(5)的中間位置，兩根上石英分隔擋桿(1)固定在左U形連接件(3)、中間U形連接件(4)和右U形連接件(5)上，兩根下石英分隔擋桿(2)固定在左U形連接件(3)、中間U形連接件(4)和右U形連接件(5)上，所有U形連接件的底部均為平面，且處于同一平面內，在上石英分隔擋桿(1)的內側面和下石英分隔擋桿(2)上面均開設有硅片卡槽(9)，兩根上石英分隔擋桿(1)上的內側硅片卡槽(9)底部之間的距離與硅片(8)的寬度尺寸相當；硅片(8)間隔地插在硅片卡槽(9)中，在左U形連接件(3)和右U形連接件(5)上都設有把手(6)，在靠近把手(6)端各插有一塊防污擋板(7)。

2.根據權利要求1所述輕便型面接觸式防污石英舟，其特征是：在硅片卡槽(9)的上口設有擴展角Φ，Φ在45°～90°之間。

3.根據權利要求1或2所述輕便型面接觸式防污石英舟，其特征是：硅片卡槽(9)的中心線方向與石英分隔擋桿軸線之間夾角β為87°～88°。