[發明專利]LED式固態紅外薄膜厚度測量方法

無效

• 申請號: 201010208325.0
• 申請日: 2010-06-24
• 公開（公告）號: CN101839695A
• 公開（公告）日: 2010-09-22
• 發明（設計）人: 何平;何露雅;楊旭東;劉俊武;錢玉恒
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109
• 代理人: 張果瑞

1.一種LED式固態紅外薄膜厚度測量方法，其特征在于，該方法為：

吸收光LED（2）在光源調制電路（1）的控制下輸出波長3.4μm的光脈沖，參比光LED（3）在光源調制電路（1）的控制下后輸出波長3.1μm的光脈沖，所述兩路不同波長的光同時打在薄膜（4）的同一位置上，透過薄膜（4）的兩路光由PbSe傳感器（5）吸收并輸出電壓信號，信號運算和處理單元（6）在光源調制電路（1）輸出的同步控制信號的控制下接收所述電壓信號，信號運算和處理單元（6）根據接收的電壓信號獲取薄膜（4）的厚度信息。

2.根據權利要求1所述的LED式固態紅外薄膜厚度測量方法，其特征在于，吸收光LED（2）和參比光LED（3）采用GaSb-InAs紅外發光管。

3.根據權利要求1所述的LED式固態紅外薄膜厚度測量方法，其特征在于，吸收光LED（2）、參比光LED（3）和PbSe傳感器（5）均配套設置一個溫控電路（8），保持吸收光LED（2）、參比光LED（3）和PbSe傳感器（5）的工作溫度穩定。

4.根據權利要求1所述的LED式固態紅外薄膜厚度測量方法，其特征在于，信號運算和處理單元（6）獲取薄膜（4）的厚度信息的過程為：將PbSe傳感器（5）輸出的電信號首先進行前置放大處理，然后在光源調制電路（1）的同步控制信號的控制下對放大處理后的信號進行同步積分，提取出對應兩路不同波長光脈沖的信號，然后進行濾波、整流，再進行A/D轉換處理，最后由DSP進行運算處理，來獲得薄膜（4）的厚度信息。