[發(fā)明專利]光路切換開關以及光路由器

有效

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• 申請日: 2010-06-18
• 公開（公告）號: CN102289067A
• 公開（公告）日: 2011-12-21
• 發(fā)明（設計）人: 毛劍宏
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇麗恒電子有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;H04B10/02
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種光路切換開關，包括一個輸入光路、兩個輸出光路和光路轉(zhuǎn)換元件，所述光路轉(zhuǎn)換元件將光束選擇性地從輸入光路路由至其中一個輸出光路，其特征在于，所述光路轉(zhuǎn)換元件包括：

半導體襯底及其表面的層間介質(zhì)層；位于層間介質(zhì)層內(nèi)的空腔，所述空腔的一端連接輸入光路，另一端由隔離層間隔成上空腔以及下空腔，所述上空腔以及下空腔分別連接兩個輸出光路；

位于所述空腔內(nèi)的彈性導光片，所述彈性導光片采用反光材料，包括連接于所述隔離層的固定端以及朝向輸入光路懸置于空腔內(nèi)的自由端；所述自由端在受到施加于空腔內(nèi)的力場影響時，在空腔頂部至空腔底部間移動。

2.如權(quán)利要求1所述的光路切換開關，其特征在于，所述光路轉(zhuǎn)換元件還包括分別位于空腔頂部以及底部的上誘導板、下誘導板，通過對所述上誘導板以及下誘導板通電，在空腔內(nèi)形成垂直于光路傳輸路徑的力場；所述彈性導光片的自由端位于所述力場中。

3.如權(quán)利要求2所述的光路切換開關，其特征在于，所述上誘導板以及下誘導板設置于空腔腔壁上或作為空腔腔壁的一部分。

4.如權(quán)利要求3所述的光路切換開關，其特征在于，所述設置有上誘導板以及下誘導板的空腔腔壁部分與空腔腔壁的其余部分絕緣隔離。

5.如權(quán)利要求2所述的光路切換開關，其特征在于，所述上誘導板以及下誘導板位于空腔外部的層間介質(zhì)層內(nèi)，且通過層間介質(zhì)層與空腔腔壁相間隔。

6.如權(quán)利要求1所述的光路切換開關，其特征在于，所述半導體襯底為硅襯底或絕緣體上硅。

7.如權(quán)利要求1所述的光路切換開關，其特征在于，所述空腔腔壁的內(nèi)表面涂覆有反射涂層。

8.如權(quán)利要求1所述的光路切換開關，其特征在于，所述空腔腔壁的材質(zhì)為金屬。

9.如權(quán)利要求8所述的光路切換開關，其特征在于，所述空腔腔壁的材質(zhì)包括鋁、鈦、鋅、銀中的一種或其組合。

10.如權(quán)利要求1所述的光路切換開關，其特征在于，所述彈性導光片的材質(zhì)為金屬。

11.如權(quán)利要求9所述的光路切換開關，其特征在于，所述彈性導光片的表面形成有氧化硅或氮化硅薄膜。

12.如權(quán)利要求9所述的光路切換開關，其特征在于，所述彈性導光片的材質(zhì)包括鋁、鈦、鋅、銀中的一種或其組合。

13.如權(quán)利要求1所述的光路切換開關，其特征在于，所述彈性導光片的自由端寬度大于固定端寬度。

14.如權(quán)利要求13所述的光路切換開關，其特征在于，所述空腔的截面為矩形，且截面寬度沿彈性導光片的自由端向固定端方向逐漸遞減，保持空腔側(cè)壁與彈性導光片的間隙大小一致。

15.如權(quán)利要求1所述的光路切換開關，其特征在于，所述上空腔以及下空腔內(nèi)填充有透光介質(zhì)。

16.如權(quán)利要求15所述的光路切換開關，其特征在于，所述上空腔以及下空腔內(nèi)填充含有二氧化硅成分的石英或玻璃。

17.一種包括多級如權(quán)利要求1所述光路切換開關的光路由器，包括至少一個輸入端，多個輸出端；所述輸入端連接第一級光路切換開關的輸入光路，所述輸出端連接最后一級光路切換開關的輸出光路，所述各級光路切換開關的輸入光路連接上一級光路切換開關的其中一個輸出光路。