[發明專利]f-theta光學鏡頭

有效

• 申請號: 201010207744.2
• 申請日: 2010-06-22
• 公開（公告）號: CN101881875A
• 公開（公告）日: 2010-11-10
• 發明（設計）人: 李家英;周朝明;高云峰
• 申請（專利權）人: 深圳市大族激光科技股份有限公司
• 主分類號: G02B13/18
• 分類號: G02B13/18;G02B13/14
• 代理公司: 深圳市科吉華烽知識產權事務所 44248
• 代理人: 胡吉科

1.一種f-theta光學鏡頭，其特征在于：其包括沿入射光線傳輸方向設置的第一透鏡，第二透鏡，以及第三透鏡，其中所述的第一透鏡為雙凹型透鏡，第二透鏡為彎月型透鏡，且曲面均向著光線入射方向彎曲，第三透鏡為雙凸型透鏡，該鏡頭的焦距為160mm，入瞳直徑為12mm，入射光波長為355nm，視場角為ω，其中2ω＝50°，加工面積為100*100mm²。

2.根據權利要求1所述的f-theta光學鏡頭，其特征在于：所述的第一透鏡包括曲率半徑分別為R1、R2的兩個曲面S1、S2，其光軸上的中心厚度d1，其材料為Nd1(折射率):Vd1(阿貝數)，所述的R1為-35mm，R2為340mm，Nd1:Vd1為1.5/70，d1為3mm。

3.根據權利要求2所述的f-theta光學鏡頭，其特征在于：所述的第二透鏡包括曲率半徑分別為R3、R4的兩個曲面S3、S4，其光軸上的中心厚度d3，其材料為Nd3(折射率):Vd3(阿貝數)，所述的R3為-120mm，R4為-55mm，Nd3:Vd3為1.6/41，d3為6mm。

4.根據權利要求3所述的f-theta光學鏡頭，其特征在于：所述的第三透鏡包括曲率半徑分別為R5、R6的兩個曲面S5、S6，其光軸上的中心厚度d5，其材料為Nd5(折射率):Vd5(阿貝數)，所述的R5為350mm，R6為-60mm，Nd5:Vd5為1.6/41，d5為12mm。

5.根據權利要求4所述的f-theta光學鏡頭，其特征在于：第一透鏡與第二透鏡在光軸上的間距為d2，第二透鏡與第三透鏡在光軸上的間距為d4，所述的d2為4mm，d4為0.1mm。

6.根據權利要求1所述的f-theta光學鏡頭，其特征在于：所述的第三透鏡與成像面之間進一步設置保護鏡，該保護鏡為雙平板透鏡，其包括平面S7，S8，該保護鏡光軸上的中心厚度為3mm，所述的平面S7的材料為Nd7(折射率):Vd7(阿貝數)，Nd7:Vd7為1.5/70。

7.根據權利要求6所述的f-theta光學鏡頭，其特征在于：所述的第三透鏡與保護鏡在光軸上的間距為2mm。

8.根據權利要求5所述的f-theta光學鏡頭，其特征在于：所述的曲面曲率半徑，曲面間隔以及材料參數的修正范圍為±5％。