[發明專利]一種能量天平可動互感線圈的位移測量裝置

無效

• 申請號: 201010207378.0
• 申請日: 2010-06-23
• 公開（公告）號: CN101907443A
• 公開（公告）日: 2010-12-08
• 發明（設計）人: 張麗瓊;李巖;劉振;張繼濤
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 西安智大知識產權代理事務所 61215
• 代理人: 賈玉健

1.一種能量天平可動互感線圈的位移測量裝置，包括一個縱向塞曼雙頻激光頭(1)，其特征在于：在縱向塞曼雙頻激光頭(1)的激光束輸出方向上配置有第一分束器(2)，在第一分束器(2)的反射光束方向配置有光束轉折器(4)，在第一分束器(2)的透射光束方向配置有第二分束器(3)。

2.根據權利要求1所述的一種能量天平可動互感線圈的位移測量裝置，其特征在于：所述的第二分束器(3)的透射光束方向上配置有第一偏振分光棱鏡(5)，在光束轉折器(4)的反射光束方向上配置有第二偏振分光棱鏡(6)，在第二分束器(3)的反射光束方向上配置有第三偏振分光棱鏡(7)，第一偏振分光棱鏡(5)、第二偏振分光棱鏡(6)分別放置在隔振平臺的水平基座上，第三偏振分光棱鏡7固定于第二分束器(3)的豎直上方。

3.根據權利要求2所述的一種能量天平可動互感線圈的位移測量裝置，其特征在于：所述的第一偏振分光棱鏡(5)、第二偏振分光棱鏡(6)的透射光束方向分別配置有第一參考角錐棱鏡(8)、第二參考角錐棱鏡(9)，第三偏振分光棱鏡(7)的反射光束方向配置有第三參考角錐棱鏡(10)，第一參考角錐棱鏡(8)、第二參考角錐棱鏡(9)、第三參考角錐棱鏡(10)分別固定在第一偏振分光棱鏡(5)、第二偏振分光棱鏡(6)、第三偏振分光棱鏡(7)上。

4.根據權利要求2所述的一種能量天平可動互感線圈的位移測量裝置，其特征在于：所述的第一偏振分光棱鏡(5)、第二偏振分光棱鏡(6)的反射光束方向分別配置有第一測量角錐棱鏡(11)、第二測量角錐棱鏡(12)，第三偏振分光棱鏡(7)的透射光束方向配置有第三測量角錐棱鏡(13)，第一測量角錐棱鏡(11)、第二測量角錐棱鏡(12)、第三測量角錐棱鏡(13)內嵌于能量天平可移動互感線圈(17)骨架內。

5.根據權利要求2所述的一種能量天平可動互感線圈的位移測量裝置，其特征在于：所述的第一偏振分光棱鏡(5)、第二偏振分光棱鏡(6)、第三偏振分光棱鏡(7)的反射光束和透射光束的匯合方向分別配置有第一光接收器(14)、第二光接收器(15)、第三光接收器(16)，第一光接收器(14)、第二光接收器(15)、第三光接收器(16)的光接收探頭通過傳輸光纖分別和相應放大信號處理器相連。

6.根據權利要求1所述的一種能量天平可動互感線圈的位移測量裝置，其特征在于：所述的第一分束器(2)、第二分束器(3)的能量分束比分別為33％和50％。

7.根據權利要求2所述的一種能量天平可動互感線圈的位移測量裝置，其特征在于：所述的第一偏振分光棱鏡(5)、第二偏振分光棱鏡(6)、第三偏振分光棱鏡(7)的中心在水平基座的投影組成等邊三角形的頂點。

8.根據權利要求4所述的一種能量天平可動互感線圈的位移測量裝置，其特征在于：所述的第一測量角錐棱鏡(11)、第二測量角錐棱鏡(12)、第三測量角錐棱鏡(13)的中心與第一偏振分光棱鏡(5)、第二偏振分光棱鏡(6)、第三偏振分光棱鏡(7)的中心在豎直方向一一對應。