[發明專利]三束光線兩兩垂直的調整方法

無效

• 申請號: 201010202342.3
• 申請日: 2010-06-13
• 公開（公告）號: CN101872074A
• 公開（公告）日: 2010-10-27
• 發明（設計）人: 匡翠方;王婷婷;郝翔;劉旭
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: G02B27/28
• 分類號: G02B27/28;G02B17/06;G01B11/26
• 代理公司: 杭州天勤知識產權代理有限公司 33224
• 代理人: 胡紅娟

1.一種三束光線兩兩垂直的調整方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)由激光器發出的準直激光，經過第一偏振分光器得到第一垂直線偏振光和第一平行線偏振光，所述的第一垂直線偏振光透過第一λ/4波片變成第一圓偏振光，第一λ/4波片的快軸與第一垂直線偏振光的偏振方向的夾角為45°；所述的第一平行線偏振光透過第二λ/4波片變成第二圓偏振光，第二λ/4波片的快軸與第一平行線偏振光的偏振方向的夾角為45°；所述第二圓偏振光經過第二偏振分光器得到第二垂直線偏振光和第二平行線偏振光，所述第二平行線偏振光經第一二維可調小平面反射鏡反射后得到第三出射光束，采用光線平行調整的方法進行調整，使得第一圓偏振光、第二垂直線偏振光和第三出射光束為三束平行誤差在0.2弧秒以下的相互平行的光線；其中，第一圓偏振光為第一束平行光線，第二垂直線偏振光為第二束平行光線，第三出射光束為第三束平行光線；

(2)用擋光紙板遮住第三束平行光線，在第一束和第二束平行光線的光路中，放置帶有二維微調裝置的第一平面反射鏡和帶有二維微調裝置的第二平面反射鏡，使得第一束平行光線經第一和第二平面反射鏡兩次反射后沿第二束平行光線的出射光路逆向返回，并經過第一偏振分光器90°反射，透過透鏡入射到角度探測器上；同樣，也使得第二束平行光線經第二和第一平面反射鏡兩次反射后沿第一束平行光線的出射光路逆向返回，并透過第一偏振分光器和透鏡入射到角度探測器上；其中，所述的第一和第二平面反射鏡的夾角粗調為近似90°；

(3)細調第一和第二平面反射鏡的夾角，記錄下第一束和第二束平行光線在角度探測器上的讀數；重復細調操作若干次，直至第一束和第二束平行光線在角度探測器上的讀數相同，此時，第一和第二平面反射鏡呈90°拼接；

(4)將第一和第二平面反射鏡固定后整體旋轉，增加帶有二維微調裝置的第三平面反射鏡，使第三和第一平面反射鏡取代步驟(2)中的第一和第二平面反射鏡，置于第一束和第二束平行光線的光路中，細調第三和第一平面反射鏡的夾角，記錄下第一束和第二束平行光線在角度探測器上的讀數；重復細調操作若干次，直至第一束和第二束平行光線在角度探測器上的讀數相同，此時，第三和第一平面反射鏡呈90°拼接；將第三平面反射鏡與第一和第二平面反射鏡固定在一起；

(5)將固定好的第一、第二和第三平面反射鏡整體旋轉，使第三平面反射鏡和第二平面反射鏡取代步驟(2)中的第一和第二平面反射鏡，置于第一束和第二束平行光線的光路中，微調第三和第二平面反射鏡的夾角，記錄下第一束和第二束平行光線在角度探測器上的讀數；重復細調操作若干次，直至第一束和第二束平行光線在角度探測器上的讀數相同，此時，第二和第三平面反射鏡呈90°拼接；

至此，第一、第二和第三平面反射鏡兩兩相互垂直構成一空心角錐棱鏡；

(6)撤走遮住第三束平行光線的擋光紙板，用擋光紙板遮住第一束和第二束平行光線，旋轉調整所述空心角錐棱鏡的位置，使得第三束平行光線直接入射到所述空心角錐棱鏡的第一平面反射鏡上，第三束平行光線與其入射的平面反射鏡的夾角粗調為近似90°；整體旋轉微調所述空心角錐棱鏡的位置，使得第三束平行光線被所述空心角錐棱鏡的第一平面反射鏡反射后，再次被第一二維可調小平面反射鏡反射，透射經過第二偏振分光器和第二λ/4波片后，再經第一偏振分光鏡反射，經透鏡匯聚后，在角度探測器上的讀數為0；

(7)撤走遮住第二束平行光線的擋光紙板，用擋光紙板遮住第一束和第三束平行光線，在第二束平行光線的光路上增加第二二維可調小平面反射鏡，第二束平行光線經過第二二維可調小平面反射鏡反射后的光線為第四束光線，其中第二二維可調小平面反射鏡與所述空心角錐棱鏡的第三平面反射鏡的夾角近似為90°，第二二維可調小平面反射鏡與所述空心角錐棱鏡的第二平面反射鏡的夾角近似為45°；細調第二二維可調小平面反射鏡與所述空心角錐棱鏡的第三平面反射鏡的夾角以及第二二維可調小平面反射鏡與所述空心角錐棱鏡的第二平面反射鏡的夾角，使得第四束光線經過所述空心角錐棱鏡的第二平面反射鏡逆向反射，再通過第二二維可調小平面反射鏡反射后的光線經第二偏振分光器反射，透過第二λ/4波片，再經第一偏振分光器反射后的光線，經透鏡匯聚在角度探測器上的讀數也為0；

(8)撤走遮住第一束平行光線的擋光紙板，用擋光紙板遮住第二束和第三束平行光線，在第一束平行光線的光路上增加第三二維可調小平面反射鏡，第一束平行光線經過第三二維可調小平面反射鏡反射后的光線為第五束光線，其中第三二維可調小平面反射鏡與所述空心角錐棱鏡的第三平面反射鏡的夾角近似為45°，第三二維可調小平面反射鏡與所述空心角錐棱鏡的第一平面反射鏡的夾角近似為45°；細調第三二維可調小平面反射鏡與所述空心角錐棱鏡的第三平面反射鏡的夾角以及第三二維可調小平面反射鏡與所述空心角錐棱鏡的第一平面反射鏡的夾角，使得第五束光線入射到所述空心角錐棱鏡的第三平面反射鏡上逆向反射后，被第三二維可調小平面反射鏡反射后的光線經過第一λ/4波片后，經第一偏振分光器透射后的光線，經透鏡匯聚在角度探測器上的讀數也為0；

(9)撤去空心角錐棱鏡和擋光紙板，第四束光線、第三束平行光線和第五束光線兩兩相互垂直。