[發(fā)明專利]激光輻照裝置、激光輻照方法、以及半導(dǎo)體器件制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010201368.6
• 申請(qǐng)日: 2002-08-02
• 公開（公告）號(hào): CN101879658A
• 公開（公告）日: 2010-11-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田中幸一郎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所
• 主分類號(hào): B23K26/00
• 分類號(hào): B23K26/00;H01L21/268
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 朱海煜;李家麟

1.一種激光輻照裝置，它包含：

多個(gè)激光器；

隔離器；

用來將多個(gè)激光束在輻照表面上的形狀形成為橢圓形或矩形的裝置；以及

用來沿第一方向和與第一方向相反的方向移動(dòng)多個(gè)激光束在輻照表面上的輻照位置，并沿第二方向移動(dòng)多個(gè)激光束在輻照表面上的輻照位置的裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的激光輻照裝置，其中用來將多個(gè)激光束在輻照表面上的形狀形成為橢圓形或矩形的裝置具有凸透鏡、柱形透鏡、或光柵。

3.一種激光輻照裝置，它包含：

激光器；

用來將激光器發(fā)射的激光束分割成多個(gè)激光束的光束分裂器；

相對(duì)多個(gè)激光束傾斜地安置的輻照表面；

用來將多個(gè)激光束在輻照表面上的形狀形成為橢圓形或矩形的多個(gè)透鏡；以及

用來移動(dòng)多個(gè)激光束在輻照表面上的輻照位置的平臺(tái)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3的激光輻照裝置，其中激光器是連續(xù)振蕩或脈沖振蕩的固體激光器。

5.根據(jù)權(quán)利要求3的激光輻照裝置，其中激光器是選自連續(xù)振蕩或脈沖振蕩的YAG激光器、YVO₄激光器、YLF激光器、YAlO₃激光器、玻璃激光器、紅寶石激光器、變藍(lán)寶石激光器和摻Ti的藍(lán)寶石激光器的一種或多種。

6.根據(jù)權(quán)利要求3的激光輻照裝置，其中激光器是選自Ar激光器和Kr激光器的一種或多種。

7.一種激光輻照裝置，它包含：

多個(gè)激光器；

相對(duì)于多個(gè)激光束傾斜地安置的襯底的輻照表面；

與輻照表面相對(duì)地提供的板；以及

用來移動(dòng)多個(gè)激光束在輻照表面上的輻照位置的裝置，

其中多個(gè)激光束的每一個(gè)都入射到襯底，然后通過襯底傳輸，并在板上被反射，且再次入射到襯底。

8.根據(jù)權(quán)利要求7的激光輻照裝置，其中板是反射板。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或7的激光輻照裝置，其中用來移動(dòng)多個(gè)激光束在輻照表面上的輻照位置的裝置是平臺(tái)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1或7的激光輻照裝置，其中多個(gè)激光器的每一個(gè)是連續(xù)振蕩或脈沖振蕩的固體激光器。

11.根據(jù)權(quán)利要求1或7的激光輻照裝置，其中多個(gè)激光器的每一個(gè)是選自連續(xù)振蕩或脈沖振蕩的YAG激光器、YVO₄激光器、YLF激光器、YAlO₃激光器、玻璃激光器、紅寶石激光器、變藍(lán)寶石激光器和摻Ti的藍(lán)寶石激光器的一種或多種。

12.根據(jù)權(quán)利要求1或7的激光輻照裝置，其中多個(gè)激光器的每一個(gè)是選自Ar激光器和Kr激光器的一種或多種。

13.一種激光輻照方法，它包含：

用光學(xué)系統(tǒng)將多個(gè)激光束在相對(duì)于該多個(gè)激光束傾斜地安置的輻照表面上的形狀形成為橢圓形或矩形；

在輻照表面移動(dòng)的同時(shí)，發(fā)射多個(gè)激光束。

14.一種激光輻照方法，它包含：

用光學(xué)系統(tǒng)將多個(gè)激光束在相對(duì)于該多個(gè)激光束傾斜地安置的輻照表面上的形狀形成為橢圓形或矩形；

在移動(dòng)的同時(shí)，發(fā)射多個(gè)激光束。

15.根據(jù)權(quán)利要求13或14的激光輻照方法，其中凸透鏡、柱形透鏡或光柵被用作光學(xué)系統(tǒng)。

16.根據(jù)權(quán)利要求13或14的激光輻照方法，其中多個(gè)激光束由連續(xù)振蕩或脈沖振蕩的固體激光器來振蕩。

17.根據(jù)權(quán)利要求13或14的激光輻照方法，其中多個(gè)激光束由選自連續(xù)振蕩或脈沖振蕩的YAG激光器、YVO₄激光器、YLF激光器、YAlO₃激光器、玻璃激光器、紅寶石激光器、變藍(lán)寶石激光器和摻Ti的藍(lán)寶石激光器的一種或多種來振蕩。

18.根據(jù)權(quán)利要求13或14的激光輻照方法，其中多個(gè)激光束由選自Ar激光器和Kr激光器的一種或多種來振蕩。