[發明專利]碳納米管簇的干法密實化方法無效
| 申請號： | 201010201218.5 | 申請日： | 2010-06-12 |
| 公開（公告）號： | CN101850961A | 公開（公告）日： | 2010-10-06 |
| 發明（設計）人： | 劉建影 | 申請（專利權）人： | 上海大學 |
| 主分類號： | C01B31/02 | 分類號： | C01B31/02;B82B3/00 |
| 代理公司： | 上海上大專利事務所(普通合伙) 31205 | 代理人： | 顧勇華 |
| 地址： | 200444*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 納米 密實 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種碳納米管簇的干法密實化方法，其特征在于該方法具有以下的工藝過程和步驟：
(1)使用反應濺射法沉積50至200納米厚的二氧化硅薄膜在碳納米管簇的表面，沉積在0.01～0.05毫大氣壓下進行；
(2)將載有碳納米管簇的基底取出至常壓下后，可得到密實化的碳納米管簇。
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