[發明專利]曝光裝置

有效

• 申請號: 201010200592.3
• 申請日: 2005-04-28
• 公開（公告）號: CN101846889B
• 公開（公告）日: 2012-05-09
• 發明（設計）人: 伊藤三好
• 申請（專利權）人: 株式會社V技術
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所 31210
• 代理人: 徐申民

本申請為下述申請的分案申請：

原申請的申請日：2005年4月28日

原申請的國家申請號：PCT/JP2005/008117(200580013348.3)

原申請的發明名稱：曝光裝置

技術領域

本發明涉及在被曝光體上對功能圖案進行曝光的曝光裝置，具體來說，通過用拍攝裝 置拍攝預先形成于上述被曝光體上的、成為基準的功能圖案上設定的基準位置并對其進行 檢測，以該基準位置為基準對光束的開始照射或停止照射進行控制，來提高功能圖案的重 合精度，同時設法抑制曝光裝置其成本升高。

背景技術

現有曝光裝置使用在玻璃基板上預先形成了與功能圖案相當的掩模圖案這種掩模，將 上述掩模圖案復印曝光于被曝光體上，其中有例如步進(Stepper)裝置、微鏡投影(Mirror Projection)裝置、或近接(Proximity)裝置。但這些現有的曝光裝置中，形成多層功能圖 案層疊的情況，各層間功能圖案的重合精度便成問題。尤其是大型液晶顯示器用的TFT或 彩色濾色片其形成所用的大型掩模的情況下，要求掩模圖案的排列具有較高的絕對尺寸精 度，故掩模成本升高。另外，為了獲得上述重合精度，需要底層的功能圖案和掩模圖案兩 者間對準，此對準尤其是對于大型掩模而言是難以做到的。

另一方面，有一種不用掩模、而是使用電子束或激光束將CAD數據的圖案直接描繪 于被曝光體上的曝光裝置。這種曝光裝置具有激光光源；使該激光光源所發射的激光束往 復掃描的曝光光學系統；以及以承載著被曝光體的狀態運送的運送裝置，邊根據CAD數 據控制激光光源的發射狀態，邊使激光束往復掃描，同時在與激光束掃描方向相正交的方 向上運送被曝光體，以便在被曝光體上以二維方式形成與功能圖案相當的CAD數據的圖 案(參照例如專利文獻1)。

專利文獻1：日本特開2001-144415號公報

發明內容

但這種直接描繪式的現有曝光裝置中，要求CAD數據的圖案排列具有較高的絕對尺 寸精度這一點與使用用掩模的曝光裝置的情況同樣，另外用多臺曝光裝置形成功能圖案這 種制造工序中，當曝光裝置間有精度誤差存在時，存在功能圖案的重合精度變差的問題。 因而，為了處置此類問題需要高精度的曝光裝置，造成曝光裝置成本提高。

此外，必須事先使得底層的功能圖案和CAD數據的圖案兩者間對準這一點與使用掩 模的其它曝光裝置同樣，存在與前文所述同樣的問題。

因此，本發明針對上述問題，其目的在于提供一種在提高功能圖案的重合精度的同時 設法抑制曝光裝置成本升高的曝光裝置。

為達到上述目的，本發明的曝光裝置，使從曝光光學系統照射的光束在與被曝光體的 移動方向相正交的方向上相對地掃描，在該被曝光體上以規定的間距對功能圖案進行曝 光，其中包括：對預先形成于所述被曝光體上的、成為曝光位置基準的基準功能圖案列進 行拍攝的拍攝裝置；以及將所述拍攝裝置取得的規定區域的所述基準功能圖案列的圖像數 據復制于所述規定區域的后續區域，以補足無法由所述拍攝裝置取得的基準功能圖案列的 圖像，對該補足的基準功能圖案列圖像構成的基準功能圖案圖像檢測開始曝光或結束曝光 的基準位置，以該基準位置為基準對所述光束的開始照射或停止照射進行控制的光學系統 控制手段。

利用上述構成，由光學系統控制手段將拍攝裝置取得的規定區域的基準功能圖案列的 圖像數據復制于所述規定區域的后續區域，以補足無法由拍攝裝置取得的基準功能圖案的 圖像，對該補足的基準功能圖案列圖像構成的基準功能圖案圖像檢測開始曝光或結束曝光 的基準位置，以該基準位置為基準對所述光束的開始照射或停止照射進行控制。由此，即 便是無法在光束掃描方向上由拍攝裝置取得形成于被曝光體上的全部基準功能圖案的情 況下，仍然將規定的功能圖案高精度形成于規定位置上。

而按照本發明，通過將用拍攝裝置取得的規定區域的基準功能圖案的圖像數據復制于 規定區域的后續區域，以補足無法由拍攝裝置取得的基準功能圖案列的圖像，從而即便是 例如拍攝裝置的拍攝區域相對于光束的掃描區域較窄時，也能根據用該拍攝裝置取得的圖 像數據以完整的形式生成光束全部掃描區域內的圖像數據。所以，對于無法由拍攝裝置取 得的區域的基準功能圖案列也能對規定的功能圖案進行高精度的曝光，在將多層功能圖案 層疊形成的情況下，各層功能圖案的重合精度也得到提高，還可以減少拍攝裝置數目，降 低裝置成本。

附圖說明