[發明專利]一種真空泵用排氣口

有效

• 申請號: 201010199127.2
• 申請日: 2010-06-12
• 公開（公告）號: CN102278295A
• 公開（公告）日: 2011-12-14
• 發明（設計）人: 張振厚;王光玉;孔祥玲
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司
• 主分類號: F04B39/00
• 分類號: F04B39/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 俞魯江

技術領域

本發明涉及真空技術領域，具體說是涉及一種真空泵，更具體說是一種真空泵用排氣口。

背景技術

在IC裝備工藝、制藥工藝以及光伏、化工等工藝中，尾氣粉塵、顆粒現象普遍，普通的真空泵排氣口多由單個逆止閥組成，粉塵容易在逆止閥密封面和排氣口底部堆積，造成排氣口堵塞或逆止閥失效，影響真空泵性能及使用。

發明內容

為解決上述技術問題，本發明的目的是提供一種能有效防止排氣口由于粉塵堆積導致的堵塞和外部氣體返流，避免真空泵性能下降的排氣閥，具體方案是：

一種真空泵用排氣口結構，包括入口法蘭、出口法蘭，還包括儲塵腔、除塵球閥和彈簧逆止閥，所述除塵球閥和彈簧逆止閥安裝于儲塵腔內，所述入口法蘭、除塵球閥、彈簧逆止閥、出口法蘭依次串聯；

所述除塵球閥包括除塵球閥底座、密封球、除塵球閥上蓋，所述除塵球閥底座安裝在儲塵腔內，所述除塵球閥上蓋與除塵球閥底座固接，所述密封球放置在除塵球閥上蓋與除塵球閥底座形成的空間內；

所述彈簧逆止閥包括彈簧逆止閥體、彈簧逆止閥閥芯、硫化橡膠圈、彈簧，所述彈簧逆止閥體安裝在儲塵腔上部，彈簧逆止閥閥芯放置在彈簧逆止閥體底部，硫化橡膠圈粘接在彈簧逆止閥閥芯底部與彈簧逆止閥體底部接觸，彈簧下部與彈簧逆止閥閥芯抵接，上部與出口法蘭抵接；

為便于儲塵腔底部儲存粉塵，所述除塵球閥底座高于儲塵腔底部；

為使密封球有足夠的空間彈起，所述除塵球閥上蓋高度為密封球直徑的1.5倍；

為使氣流從四周溢出，所述除塵球閥上蓋四周密布通氣槽孔；

為避免頻繁與閥體接觸產生噪音過大，所述密封球的材料為橡膠或聚四氟；

為取得更好的技術效果，所述硫化橡膠圈粘接在彈簧逆止閥閥芯底部，在彈簧的壓力作用下與彈簧逆止閥體抵接，起密封作用。

本發明具有如下優點：

本發明適用于任意真空泵，特別是使用工藝復雜，反應尾氣充滿粉塵顆粒的真空泵。防止排氣口由于粉塵堆積導致的堵塞和外部氣體返流，避免真空泵性能下降。

附圖說明

圖1為本發明結構示意圖。

其中：1、入口法蘭；2、除塵球閥底座；3、密封球；4、除塵球閥上蓋；5、出口法蘭；6、彈簧；7、彈簧逆止閥閥芯；8、硫化橡膠圈；9、彈簧逆止閥體；10、儲塵腔。

具體實施方式

下面結合附圖具體說明本發明，如圖1所示，本發明包括入口法蘭1、出口法蘭5，還包括儲塵腔10、除塵球閥和彈簧逆止閥，所述除塵球閥和彈簧逆止閥安裝于儲塵腔10內，所述入口法蘭1、除塵球閥、彈簧逆止閥、出口法蘭5依次串聯。

所述除塵球閥包括除塵球閥底座2、密封球3、除塵球閥上蓋4，所述除塵球閥底座2安裝在儲塵腔10內，所述除塵球閥上蓋4與除塵球閥底座2固接，所述密封球3放置在除塵球閥上蓋4與除塵球閥底座2形成的空間內。

所述彈簧逆止閥包括彈簧逆止閥體9、彈簧逆止閥閥芯7、硫化橡膠圈8、彈簧6，所述彈簧逆止閥體9體安裝在儲塵腔10上部，彈簧逆止閥閥芯7放置在彈簧逆止閥體9底部，硫化橡膠圈8粘接在彈簧逆止閥閥芯7底部與彈簧逆止閥體9接觸，彈簧6下部與彈簧逆止閥閥芯7抵接，上部與出口法蘭5抵接。

為便于儲塵腔底部儲存粉塵，所述除塵球閥底座2高于儲塵腔10底部；

為使密封球3有足夠的空間彈起，所述除塵球閥上蓋4高度為密封球3直徑的1.5倍；

為使氣流從四周溢出，所述除塵球閥上蓋4四周密布通氣槽孔；

為避免頻繁與閥體接觸產生噪音過大，所述密封球3的材料為橡膠或聚四氟；

為取得更好的技術效果，所述硫化橡膠圈8粘接在彈簧逆止閥閥芯7底部，在彈簧6的壓力作用下可與彈簧逆止閥體9抵接，起密封作用。

本發明的原理是：真空泵尾氣從排氣管排出時，經過入口法蘭1先流經除塵球閥，可隨意滾動的密封球3在氣流沖擊下彈起，可阻擋氣流，使氣流向四周噴射，氣流中混雜的粉塵和顆粒經多次撞擊后，大部分沉淀在儲塵室10中，而密封球3材料為氟橡膠或聚四氟，所以在滾動過程中與金屬碰撞的噪音較小。除去大量粉塵的尾氣流隨后流經彈簧逆止閥，從出口法蘭5流出真空泵外，當大氣壓力大于真空泵排氣口壓力時，彈簧逆止閥關閉，防止外部氣體進入泵內。