[發明專利]一種f-theta光學鏡頭

有效

• 申請號: 201010198692.7
• 申請日: 2010-06-11
• 公開（公告）號: CN101846791A
• 公開（公告）日: 2010-09-29
• 發明（設計）人: 李家英;周朝明;高云峰
• 申請（專利權）人: 深圳市大族激光科技股份有限公司
• 主分類號: G02B13/14
• 分類號: G02B13/14;G02B13/18
• 代理公司: 廣東國暉律師事務所 44266
• 代理人: 陳琳

1.一種紫外激光應用的f-theta光學鏡頭，其特征在于，包括：位于光束的入射方向依序排列的第一、第二、第三、第四透鏡，其中，第一透鏡為雙凹型透鏡；第二透鏡為彎月型透鏡，曲面向著光線的入射方向彎曲；第三透鏡為平凸型透鏡；第四透鏡為雙凸型透鏡；其中，本光學鏡頭用于鏡頭的視場角為50°、焦距為100mm、波長為355nm的紫外激光、加工范圍為60mm*60mm加工區域。

2.如權利要求1所述的f-theta光學鏡頭，其特征在于：在第四透鏡的前方還設有一平板鏡。

3.如權利要求1所述的f-theta光學鏡頭，其特征在于：所述鏡頭的入瞳直徑為12mm。

4.如權利要求1所述的f-theta光學鏡頭，其特征在于：所述第一透鏡的兩個曲面S1、S2曲率半徑分別為R1＝-30mm、R2＝500mm，其光軸上的中心厚度d1＝2mm；第二透鏡的兩個曲面S3、S4曲率半徑分別為R3＝-65mm、R4＝-50mm，其光軸上的中心厚度d3＝6mm；第三透鏡兩個曲面S5、S6曲率半徑分別為R5＝0mm、R6＝-50mm，其光軸上的中心厚度d5＝12mm，第四透鏡兩個曲面S7、S8曲率半徑分別為R7＝180mm、R8＝-370mm，其光軸上的中心厚度d7＝7mm，其中，所有透鏡曲率半徑的公差范圍為5％。

5.如權利要求1所述的f-theta光學鏡頭，其特征在于：所述第一透鏡的材料為Nd1∶Vd1為1.5/70，所述第二透鏡的材料為Nd3∶Vd3為1.6/41，所述第三透鏡的材料為Nd5∶Vd5為1.6/41，所述第四透鏡的材料為Nd7∶Vd7為1.6/41，其公差范圍為5％。

6.如權利要求1所述的f-theta光學鏡頭，其特征在于：所述第一透鏡與第二透鏡在光軸上的間隔為5mm，其公差范圍為5％。

7.如權利要求1所述的f-theta光學鏡頭，其特征在于：第二透鏡與第三透鏡在光軸上的間隔為d4＝0.2mm，其公差范圍為5％。

8.如權利要求1所述的f-theta光學鏡頭，其特征在于：第二透鏡與第三透鏡在光軸上的間隔為d6＝0.1mm，其公差范圍為5％。