[發明專利]一種化學氣相沉積金剛石裝置有效

申請號：	201010197842.2	申請日：	2010-06-11
公開（公告）號：	CN101831626A	公開（公告）日：	2010-09-15
發明（設計）人：	晏雙利	申請（專利權）人：	晏雙利
主分類號：	C23C16/27	分類號：	C23C16/27
代理公司：	北京東方匯眾知識產權代理事務所(普通合伙) 11296	代理人：	劉淑芬
地址：	100024 北京市朝***	國省代碼：	北京;11
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	一種化學沉積金剛石裝置
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【權利要求書】：

1.一種化學氣相沉積金剛石裝置，包括真空室、真空獲得系統、冷卻系統、氣路、熱絲、機械轉動機構、基臺、控制系統及電源，其特征在于：該裝置包括一霍爾離子源，所述霍爾離子源固定安裝在真空室的頂部，其端部在真空室內，底部在真空室外且連接陽極電源、氣路及冷卻水路，且與真空室密封連通，同時在真空室頂部還開有一孔，用于連接陰極電源且密封。

下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。

免登錄下載普通用戶下載升級VIP會員，免費下載

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于晏雙利，未經晏雙利許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】

本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201010197842.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。