[發明專利]磨料纖維拋光盤、具有其的拋光機以及使用其的拋光方法

有效

• 申請號: 201010197759.5
• 申請日: 2010-06-03
• 公開（公告）號: CN101862994A
• 公開（公告）日: 2010-10-20
• 發明（設計）人: 萬關良
• 申請（專利權）人: 萬關良
• 主分類號: B24D3/00
• 分類號: B24D3/00;B24D3/28;B24D13/12;B24B29/02
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 宋合成

1.一種磨料纖維拋光盤，其特征在于，包括：

下安裝盤；

上安裝盤，在所述上安裝盤的圓周方向上間隔設置有多個孔，且所述上安裝盤以可拆卸的方式安裝于所述下安裝盤之上；和

磨料纖維束，所述磨料纖維束由多根帶有磨料的纖維集束形成，且所述磨料纖維束被設置于所述上安裝盤的所述孔內。

2.如權利要求1所述的磨料纖維拋光盤，其特征在于，所述磨料纖維束以可分離方式被設置于所述上安裝盤的所述孔內。

3.如權利要求1所述的磨料纖維拋光盤，其特征在于，所述磨料纖維束通過可去除型粘結劑而被設置于所述上安裝盤的所述孔內。

4.如權利要求3所述的磨料纖維拋光盤，其特征在于，所述可去除型粘結劑為熱塑性樹脂，所述熱塑性樹脂選自包括聚氨酯、聚苯乙烯、聚丙烯酸酯、乙烯-醋酸乙烯共聚物的組的任一種。

5.如權利要求3所述的磨料纖維拋光盤，其特征在于，所述可去除型粘結劑為溶劑型粘結劑，所述溶劑型粘結劑包括蟲膠或丁基橡膠。

6.如權利要求1所述的磨料纖維拋光盤，其特征在于，所述上安裝盤的所述孔在與所述下安裝盤相鄰一側的孔徑大于另一側的孔徑，

在設置于所述上安裝盤之前所述磨料纖維束在根部處被預先固定成束，且其根部外徑大于頂端外徑并與所述上安裝盤的所述孔相匹配。

7.如權利要求1所述的磨料纖維拋光盤，其特征在于，所述磨料纖維束的外周從根部至預定高度處被固定。

8.如權利要求7所述的磨料纖維拋光盤，其特征在于，所述磨料纖維束的外周從根部至預定高度處通過粘合劑粘合所述磨料纖維而進行固定。

9.如權利要求7所述的磨料纖維拋光盤，其特征在于，所述磨料纖維束的外周從根部至預定高度處纏繞線狀或帶狀物或通過固定環進行固定。

10.如權利要求1至9的任一項所述的磨料纖維拋光盤，其特征在于，所述磨料為氧化鋁顆粒、碳化硅顆粒、或金剛石顆粒的任一種。

11.如權利要求10所述的磨料纖維拋光盤，其特征在于，所述磨料的粒徑為10～105μm。

12.如權利要求10所述的磨料纖維拋光盤，其特征在于，所述磨料為金剛石顆粒，所述金剛石顆粒表面被覆有由過渡金屬形成的金屬膜。

13.如權利要求10所述的磨料纖維拋光盤，其特征在于，所述金剛石顆粒表面被覆有由Ni形成的金屬膜。

14.如權利要求1至9的任一項所述的磨料纖維拋光盤，其特征在于，所述纖維選自包括尼龍纖維、PET纖維、PBT纖維的組的任一種纖維。

15.如權利要求14所述的磨料纖維拋光盤，其特征在于，所述樹脂纖維的直徑為0.2～1mm。

16.一種拋光機，其特征在于，所述拋光機具有如權利要求1所述磨料纖維拋光盤。

17.一種太陽能電池用硅片的拋光方法，其特征在于，包括以下步驟：

將硅錠安裝于拋光機上，所述拋光機上設置有如權利要求1所述的磨料纖維拋光盤；和

通過所述拋光盤與所述硅錠表面的相對高速運動對所述硅錠的待拋光表面進行拋光。