[發(fā)明專利]元件封裝系統(tǒng)無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010196697.6 | 申請日: | 2010-06-02 |
| 公開(公告)號(hào): | CN101908492A | 公開(公告)日: | 2010-12-08 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 平木勉 | 申請(專利權(quán))人: | 松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào): | H01L21/50 | 分類號(hào): | H01L21/50;H01L21/58 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105 | 代理人: | 盧亞靜 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 元件 封裝 系統(tǒng) | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種元件封裝系統(tǒng),在該元件封裝系統(tǒng)中,從元件供應(yīng)部供應(yīng)的元件被拾取,從而安裝在被保持于基板保持部的基板上。
背景技術(shù)
在一些元件封裝系統(tǒng)中,在壓印頭將膏劑壓印在被保持于基板保持部上的基板上之后,安裝頭拾取從元件供應(yīng)部供應(yīng)的元件,然后將這樣拾取的元件安裝在已經(jīng)壓印有膏劑的基板上。在這些元件封裝系統(tǒng)中,已知這樣一種元件封裝系統(tǒng),其中,代替從元件供應(yīng)部拾取元件以將這樣拾取的元件直接安裝在基板上的安裝頭,用與安裝頭分開設(shè)置的拾取頭拾取從元件供應(yīng)部供應(yīng)的元件,然后安裝頭直接從拾取頭或間接經(jīng)由設(shè)置在元件供應(yīng)部與基板保持部之間的中間臺(tái)接收由拾取頭拾取的元件,從而將這樣接收到的元件安裝在被保持于基板保持部上的基板上(專利文獻(xiàn)1)。
專利文獻(xiàn)1:JP-A-2001-15533
在安裝頭從拾取頭接收元件以將元件安裝在基板上的元件封裝系統(tǒng)中,不僅需要安裝頭拾取元件的工具,還需要拾取頭拾取元件的工具。此外,必須要有類似壓印器(針)的壓印工具,將諸如焊料膏劑的膏劑壓印到基板上。此外,由于需要根據(jù)元件的形狀來更換這些工具,因此需要在諸如拾取頭、安裝頭和壓印頭的三個(gè)頭能夠接近的區(qū)域中預(yù)先設(shè)置用于保持這種替換工具的工具保持構(gòu)件。為此,工具保持構(gòu)件按照期望設(shè)置在位于元件供應(yīng)部與基板保持部之間的區(qū)域中。
在近來的元件封裝系統(tǒng)中,從實(shí)現(xiàn)緊湊的元件封裝系統(tǒng)的觀點(diǎn)出發(fā),各種元件和機(jī)構(gòu)緊密地設(shè)置在基臺(tái)上,已經(jīng)存在難以將工具保持構(gòu)件安裝在位于元件供應(yīng)部與基板保持部之間的區(qū)域中的問題。
發(fā)明內(nèi)容
這樣,為了解決該問題,已經(jīng)做出本發(fā)明,本發(fā)明的目的是提供一種元件封裝系統(tǒng),即使可由諸如拾取頭、安裝頭和壓印頭的三個(gè)頭接近的工具保持構(gòu)件安裝在元件供應(yīng)部與基板保持部之間,該元件封裝系統(tǒng)也可以作為整體是緊湊的。
根據(jù)本發(fā)明的第一方面,提供了一種元件封裝系統(tǒng),其包括:元件供應(yīng)部,用于供應(yīng)元件;基板保持部,用于保持基板;壓印頭,設(shè)置成能夠在水平的第一方向上移動(dòng),元件供應(yīng)部和基板保持部在該第一方向上對(duì)準(zhǔn),并且,通過利用壓印工具,該壓印頭將膏劑壓印到被保持在基板保持部上的基板上;拾取頭,設(shè)置成能夠在第一方向上移動(dòng),用于通過拾取工具拾取元件供應(yīng)部所供應(yīng)的元件;安裝頭,設(shè)置成能夠在第一方向上移動(dòng),用于通過安裝工具接收拾取頭所拾取的元件,以將元件安裝在已經(jīng)由壓印頭壓印有膏劑的基板上;和工具保持構(gòu)件,保持用于拾取工具、安裝工具和壓印工具的替換工具;其中,在位于元件供應(yīng)部與基板保持部之間的區(qū)域中設(shè)置有移動(dòng)工作臺(tái),該移動(dòng)工作臺(tái)能夠在水平的第二方向上移動(dòng),該第二方向與第一方向成直角;并且其中,工具保持構(gòu)件設(shè)置在移動(dòng)工作臺(tái)上的一區(qū)域中,在該區(qū)域中,拾取頭能夠移動(dòng)的移動(dòng)區(qū)域、安裝頭能夠移動(dòng)的移動(dòng)區(qū)域和壓印頭能夠移動(dòng)的移動(dòng)區(qū)域重疊。
根據(jù)本發(fā)明的第二方面,提供了如第一方面中提出的元件封裝系統(tǒng),其中,拾取頭、安裝頭和壓印頭對(duì)準(zhǔn)的順序與替換拾取工具、替換安裝工具和替換壓印工具在工具保持構(gòu)件上對(duì)準(zhǔn)的順序相同。
在本發(fā)明中,移動(dòng)工作臺(tái)設(shè)置在位于元件供應(yīng)部與基板保持部之間的區(qū)域中,其可以在與元件供應(yīng)部和基板保持部對(duì)準(zhǔn)的水平方向(第一方向)成直角的水平方向(第二方向)上自由地移動(dòng),并且,工具保持構(gòu)件設(shè)置在移動(dòng)工作臺(tái)上的一區(qū)域中,在該區(qū)域中,拾取頭能夠移動(dòng)的移動(dòng)區(qū)域、安裝頭能夠移動(dòng)的移動(dòng)區(qū)域和壓印頭能夠移動(dòng)的移動(dòng)區(qū)域重疊。因此,即使可以由諸如拾取頭、安裝頭和壓印頭3的三個(gè)頭接近的工具保持構(gòu)件安裝在元件供應(yīng)部與基板保持部之間,也可以使該元件封裝系統(tǒng)作為一個(gè)整體是緊湊的。
附圖說明
圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的元件封裝系統(tǒng)的透視圖。
圖2是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的元件封裝系統(tǒng)的主要部分的正視圖。
圖3是示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的元件封裝系統(tǒng)的控制系統(tǒng)的框圖。
圖4是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的元件封裝系統(tǒng)的主要部分的正視圖。
圖5是包括在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的元件封裝系統(tǒng)中的移動(dòng)工作臺(tái)和移動(dòng)工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)的透視圖。
圖6是包括在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的元件封裝系統(tǒng)中的移動(dòng)工作臺(tái)和移動(dòng)工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)的透視圖。
圖7(a)和(b)是包括在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的元件封裝系統(tǒng)中的工具保持構(gòu)件的平面圖。
圖8是示出包括在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的元件封裝系統(tǒng)中的工具保持構(gòu)件的一部分連同替換工具一起的透視圖。
圖9是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的元件封裝系統(tǒng)的主要部分的正視圖。
具體實(shí)施方式
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





