[發(fā)明專利]修整裝置、修整方法和拋光裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010196443.4 | 申請日： | 2010-06-03 |
| 公開（公告）號： | CN101905444A | 公開（公告）日： | 2010-12-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 筱崎弘行 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社荏原制作所 |
| 主分類號： | B24B53/00 | 分類號： | B24B53/00;B24B29/02 |
| 代理公司： | 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002 | 代理人： | 王瓊 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 修整 裝置 方法 拋光 | ||
1.一種用于修整拋光墊的修整裝置，所述裝置包括：
將與拋光墊滑動接觸的修整器盤；
聯(lián)接至所述修整器盤的垂直可移動的修整器驅(qū)動軸；
構(gòu)造成接收氣體的供給以通過所述修整器驅(qū)動軸將所述修整器盤壓在拋光墊上的加壓機構(gòu)；
構(gòu)造成測量供給到所述加壓機構(gòu)的氣體的壓力的壓力測量設(shè)備；
構(gòu)造成測量作用在所述修整器驅(qū)動軸上的載荷的載荷測量設(shè)備；和
構(gòu)造成控制供給到所述加壓機構(gòu)的氣體的壓力的壓力控制器，
其中，所述壓力控制器構(gòu)造成基于所述壓力測量設(shè)備和所述載荷測量設(shè)備的測量值建立氣體的壓力與所述修整器盤在拋光墊上的壓緊力之間的關(guān)系。
2.一種用于拋光基片的拋光裝置，所述裝置包括：
用于支撐拋光墊的旋轉(zhuǎn)拋光臺；
構(gòu)造成將基片壓在拋光墊上的頂環(huán)；和
如權(quán)利要求1所述的修整裝置。
3.一種用于修整拋光墊的修整裝置，所述裝置包括：
將與拋光墊滑動接觸的修整器盤；
聯(lián)接至所述修整器盤的垂直可移動的修整器驅(qū)動軸；
構(gòu)造成通過所述修整器驅(qū)動軸將所述修整器盤壓在拋光墊上的氣壓缸；
構(gòu)造成通過所述修整器驅(qū)動軸提升所述修整器盤的提升機構(gòu)；和
構(gòu)造成控制供給到所述氣壓缸中氣體的壓力的壓力控制器。
4.如權(quán)利要求3所述的修整裝置，其特征在于，所述提升機構(gòu)包括彈簧。
5.如權(quán)利要求3所述的修整裝置，其特征在于，還包括：
構(gòu)造成當(dāng)所述修整器盤與拋光墊接觸時測量所述修整器盤沿垂直方向的位置的位置傳感器。
6.如權(quán)利要求5所述的修整裝置，其特征在于，所述壓力控制器構(gòu)造成基于所述位置傳感器的測量值改變供給所述氣壓缸的氣體的壓力。
7.如權(quán)利要求5所述的修整裝置，其特征在于，還包括：
構(gòu)造成測量作用在所述修整器驅(qū)動軸上的載荷的載荷測量設(shè)備；和
構(gòu)造成測量供給到所述氣壓缸的氣體的壓力的壓力測量設(shè)備，
其中，所述壓力控制器構(gòu)造成當(dāng)拋光墊的磨損量已經(jīng)達到預(yù)定值時，基于所述壓力測量設(shè)備和所述載荷測量設(shè)備的測量值，由所述位置傳感器的測量值確定拋光墊的磨損量并且建立氣體的壓力與所述修整器盤壓在拋光墊上的壓緊力之間的關(guān)系。
8.如權(quán)利要求3所述的修整裝置，其特征在于，還包括：
構(gòu)造成測量作用在所述修整器驅(qū)動軸上的載荷的載荷測量設(shè)備；和
構(gòu)造成測量供給到所述氣壓缸的氣體的壓力的壓力測量設(shè)備，
其中，所述壓力控制器構(gòu)造成基于所述壓力測量設(shè)備和所述載荷測量設(shè)備的測量值建立氣體的壓力與所述修整器盤在拋光墊上的壓緊力之間的關(guān)系。
9.如權(quán)利要求3所述的修整裝置，其特征在于，還包括：
構(gòu)造成測量作用在所述修整器驅(qū)動軸上的載荷的載荷測量設(shè)備，
其中，所述壓力控制器構(gòu)造成基于所述載荷測量設(shè)備的測量值控制氣體的壓力，這樣所述修整器盤壓在拋光墊上的壓緊力就在拋光墊的修整期間保持在預(yù)定目標(biāo)值處。
10.一種用于拋光基片的拋光裝置，所述裝置包括：
用于支撐拋光墊的旋轉(zhuǎn)拋光臺；
構(gòu)造成將基片壓在拋光墊上的頂環(huán)；和
如權(quán)利要求3所述的修整裝置。
11.一種用于修整拋光墊的方法，所述方法包括：
旋轉(zhuǎn)修整器盤和拋光墊；
通過修整器驅(qū)動軸由接收氣體的供給驅(qū)動的加壓機構(gòu)將修整器盤壓在拋光墊上；
測量供給到加壓機構(gòu)的氣體的壓力；
測量作用在修整器驅(qū)動軸上的載荷；并且
基于氣體壓力的測量值和載荷的測量值建立氣體的壓力與所述修整器盤在拋光墊上的壓緊力之間的關(guān)系。
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