[發(fā)明專利]一種投影物鏡

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010196223.1
• 申請(qǐng)日: 2010-06-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102279459A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-12-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 武珩;黃玲;劉國(guó)淦
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G02B13/18
• 分類號(hào): G02B13/18;G02B13/14;G03F7/20
• 代理公司: 北京連和連知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278
• 代理人: 王光輝

1.一種投影物鏡，用于把位于所述投影物鏡的物平面內(nèi)的圖案投射到所述投影物鏡像平面內(nèi)，其特征在于從所述物平面開(kāi)始沿光軸依次設(shè)置：

具有正光焦度的第一透鏡組；

具有正光焦度的第二透鏡組；

光焦度接近零的第三透鏡組；

具有正光焦度的第四透鏡組；

其中：所述各透鏡組滿足以下關(guān)系式：

0.42＜f₂/f₁＜0.58????(1)

1.94＜f₄/f₁＜1.53????(2)

f₁：第一透鏡組的焦距；f₂：第二透鏡組的焦距；f₄：第四透鏡組的焦距。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的投影物鏡，其特征在于：

所述第一透鏡組由五片透鏡構(gòu)成，光焦度依次為負(fù)、正、正、負(fù)、負(fù)；第一透鏡組包含一子透鏡組，所述子透鏡組包括第一透鏡組的第二、第三透鏡；

所述第二透鏡組由六片透鏡構(gòu)成，光焦度依次為負(fù)、正、正、正、正、負(fù)；所述第二透鏡組包含第一和第二子透鏡組，第一子透鏡組包括第二透鏡組的第一、第二、第三透鏡，第二子透鏡組包括第二透鏡組的第四、第五、第六透鏡；

所述第三透鏡組由四片透鏡構(gòu)成，四片透鏡的光焦度依次為負(fù)、負(fù)、正、正；所述第三透鏡組包含第一和第二子透鏡組，第一子透鏡組光焦度為負(fù)，包括第三透鏡組的第一、第二透鏡，第二子透鏡組光焦度為正，包括第三透鏡組的第三、第四透鏡；所述第三透鏡組的光焦度接近于零；

所述第四透鏡組由兩片透鏡構(gòu)成，光焦度依次為正、負(fù)；

其中，各所述透鏡滿足以下關(guān)系式：

0.36＜f_1-1n/f₁＜0.47?????????(3)

0.7＜|f_2-1n/f_2-2n|＜1.4??????(4)

-0.77＜f_3-1n/f_2-2n＜-0.45????(5)

-0.62＜f_4-1/f_4-2＜-0.35??????(6)

其中：f₁：第一透鏡組的焦距；f_1-1n：第一透鏡組的子透鏡組的焦距；f_2-1n：第二透鏡組的第一子透鏡組的焦距；f_2-2n：第二透鏡組的第二子透鏡組的焦距；f_3-1n：第三透鏡組的第一子透鏡組的焦距；f_3-2n：第三透鏡組的第二子透鏡組的焦距；f_4-1：第四透鏡組第一透鏡的焦距；f_4-2：第四透鏡組第二透鏡的焦距。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的投影物鏡，其特征在于物鏡材料阿貝數(shù)滿足以下關(guān)系：

1.61＜V_1-1/V_1-2＜2.4?????(7)

0.52＜V_2-1/V_2-2＜0.84????(8)

0.83＜V_4-1/V_4-2＜1.15????(9)

V_1-1和V_1-2：第一透鏡組第一透鏡和第二透鏡的阿貝數(shù)；V_2-1和V_2-2：第二透鏡組第一透鏡和第二透鏡的阿貝數(shù)；V_4-1和V_4-2：第四透鏡組第一透鏡和第二透鏡的阿貝數(shù)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述投影物鏡，其特征在于所述投影物鏡的放大倍率為1.25倍。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述投影物鏡，其特征在于第一透鏡組第一透鏡為雙凹透鏡，由低色散材料構(gòu)成；第一透鏡組第二透鏡為近似平凸透鏡，近似平面面向物平面，由高色散材料構(gòu)成；第一透鏡組第三透鏡為雙凸透鏡，由低色散材料構(gòu)成；第一透鏡組第四透鏡為彎月式透鏡，前后表面近似同心，凹面面向像平面，由高色散材料構(gòu)成；第一透鏡組第五透鏡為面向物平面的彎月透鏡，由低色散材料構(gòu)成。