[發(fā)明專利]單片集成串聯(lián)耦合腔波長可切換半導(dǎo)體激光器無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010195941.7 | 申請日： | 2010-06-08 |
| 公開（公告）號： | CN101859981A | 公開（公告）日： | 2010-10-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 何建軍;金嘉亮 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江大學(xué) |
| 主分類號： | H01S5/06 | 分類號： | H01S5/06;H01S5/10;H01S5/0625 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200 | 代理人： | 林懷禹 |
| 地址： | 310027 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 單片 集成 串聯(lián) 耦合 波長 切換 半導(dǎo)體激光器 | ||
1.一種單片集成串聯(lián)耦合腔波長可切換半導(dǎo)體激光器，包括三個(gè)串聯(lián)耦合的法布里-珀羅諧振腔(101，103、102)，第一法布里-珀羅諧振腔(101)與第二法布里-珀羅諧振腔(103)之間和第二法布里-珀羅諧振腔(103)與第三法布里-珀羅諧振(102)之間，分別通過刻蝕的各自的空氣槽(106、108)相隔開；其特征在于：所述的兩個(gè)空氣槽(106、108)刻蝕深度超過半導(dǎo)體激光器的有源芯層(114)，第一法布里-珀羅諧振腔(101)和第三法布里-珀羅諧振腔(102)通過電泵浦的方式產(chǎn)生光學(xué)增益從而輸出激光，同時(shí)第二法布里-珀羅諧振腔(103)產(chǎn)生損耗用于優(yōu)化激光器的單模特性；其中：第一法布里-珀羅諧振腔(101)的一個(gè)端面為解離形成的反射面，另一個(gè)為通過刻蝕形成垂直側(cè)壁的空氣槽(106)；第三法布里-珀羅諧振腔(102)的一個(gè)端面為解離形成的反射面，另一個(gè)為通過刻蝕形成垂直側(cè)壁的空氣槽(108)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單片集成串聯(lián)耦合腔波長可切換半導(dǎo)體激光器，其特征在于：所述的兩個(gè)空氣槽(106、108)的寬度必須等于四分之一中心工作波長的奇數(shù)倍；第二法布里-珀羅諧振腔(103)的光學(xué)長度必須等于二分之一中心工作波長的整數(shù)倍。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單片集成串聯(lián)耦合腔波長可切換半導(dǎo)體激光器，其特征在于：所述的第一法布里-珀羅諧振腔(101)和第三法布里-珀羅諧振腔(102)的長度和信道間隔頻率滿足如下公式的關(guān)系，其中Δf和Δf′為各自法布里-珀羅諧振腔的信道間隔頻率，ng和ng′為各自法布里-珀羅諧振腔的有效群折射率，c為真空中的光速，L和L′分別為第一法布里-珀羅諧振腔(101)和第三法布里-珀羅諧振腔(102)的長度：
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種單片集成串聯(lián)耦合腔波長可切換半導(dǎo)體激光器，其特征在于：所述的兩個(gè)法布里-珀羅諧振腔(101、102)的長度差異小于20％。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種單片集成串聯(lián)耦合腔波長可切換半導(dǎo)體激光器，其特征在于：所述的其中一個(gè)法布里-珀羅諧振腔的長度和Δf＝100GHz的信道間隔頻率相對應(yīng)，或其中一個(gè)法布里-珀羅諧振腔的長度和Δf＝50GHz的信道間隔頻率相對應(yīng)。
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