[發明專利]半導體專用設備晶片旋轉臺裝置

有效

• 申請號: 201010195940.2
• 申請日: 2010-06-10
• 公開（公告）號: CN101894784A
• 公開（公告）日: 2010-11-24
• 發明（設計）人: 王仲康;袁立偉;王欣
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十五研究所
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 石家莊新世紀專利商標事務所有限公司 13100
• 代理人: 張貳群

技術領域

本發明涉及對半導體專用設備用晶片旋轉裝置技術領域。

背景技術

半導體專用設備在進行晶片加工的過程中，需要將晶片真空吸附固定以進行加工。常見的旋轉裝置存在一些問題，如運轉不平穩、密封性不好、剛度低等。

發明內容

發明的目的是提供一種半導體專用設備晶片旋轉臺裝置，與現有技術相比，具有結構緊湊，運轉平穩、加工質量高、密封性好、使用方便、壽命長等優點。

本發明是這樣實現的：一種半導體專用設備晶片旋轉臺裝置，包括真空吸盤、轉軸、電機及機械傳動裝置，其特征在于真空吸盤固定在轉軸上端面，轉軸采用一端固定一端游動支撐，通過兩個角接觸球軸承和一個深溝球軸承安裝在在軸承套中，轉軸下方與電機及機械傳動裝置連接，軸承套和座體相固定。

所述的轉軸為階梯軸，兩個角接觸球軸承兩端內外圈均固定，上端內圈卡在轉軸的軸肩上，上端外圈壓在軸承蓋的下端面上，下端內圈與隔套上端面接觸，下端外圈壓在軸承套的內孔端面上，軸承蓋通過螺釘固定在軸承套的上端面上；深溝球軸承兩端只內圈固定，上端內圈與隔套下端面接觸，下端內圈由上鎖母和下鎖母通過轉軸下端的螺紋雙重鎖定，端蓋固定在軸承套下端面上；真空鎖母壓在真空吸盤的凹槽內，通過螺紋與轉軸中的真空管聯接，真空管的下方接有和真空裝置相連的旋轉接頭。

所述的兩個角接觸球軸承之間安裝有內外隔圈，深溝球軸承與鎖母之間安裝有內圈隔圈。

所述的上密封環固定在真空吸盤的下端面上，與下密封環相互交叉。

所述的上述真空吸盤與軸承蓋之間，端蓋與上鎖母之間均設有徑向迷宮密封。

本發明的積極效果是：能有效解決現有技術中存在的問題，與現有技術相比，具有結構緊湊，運轉平穩、加工質量高、密封性好、使用方便、壽命長等優點。

附圖說明

圖1是本發明一較佳實施例的結構示意圖。

圖中：1-真空吸盤、2-真空鎖母、3-軸承蓋、4-上密封環、5-下密封環、6-轉軸、7-角接觸球軸承、8-真空管、9-隔套、10-軸承套、11-深溝球軸承、12-端蓋、13-上鎖母、14-下鎖母。

具體實施方式

下面結合較佳實施例及其附圖和對本發明進一步說明，但不作為對本發明的限定。

見圖1，該半導體專用設備晶片旋轉臺裝置，包括真空吸盤1、轉軸6、電機及機械傳動裝置，真空吸盤1固定在轉軸6上端面，轉軸6采用一端固定一端游動支撐，通過兩個角接觸球軸承7和一個深溝球軸承11安裝在在軸承套10中，轉軸6下方與電機及機械傳動裝置連接，軸承套10和座體相固定；真空鎖母2壓在真空吸盤1的凹槽內，通過螺紋與轉軸6中的真空管8聯接，真空管8的下方接有和真空裝置相連的旋轉接頭。轉軸6為階梯軸，兩個角接觸球軸承7兩端內外圈均固定，上端內圈卡在轉軸6的軸肩上，上端外圈壓在軸承蓋3的下端面上，下端內圈與隔套9上端面接觸，下端外圈壓在軸承套10的內孔端面上，軸承蓋3通過螺釘固定在軸承套10的上端面上；深溝球軸承11兩端只內圈固定，上端內圈與隔套9下端面接觸，下端內圈由上鎖母13和下鎖母14通過轉軸下端的螺紋雙重鎖定，端蓋12固定在軸承套10下端面上。兩個角接觸球軸承7之間安裝有內外隔圈，深溝球軸承11與鎖母13之間安裝有內圈隔圈。上密封環4固定在真空吸盤1的下端面上，與下密封環5相互交叉。上述真空吸盤1與軸承蓋3之間，端蓋12與上鎖母13之間均設有徑向迷宮密封。

本發明專利是一種動作平穩、使用方便的晶片吸附旋轉裝置。軸系軸承采用一端固定一端游動支撐，增加旋轉的穩定性。轉動軸由一對角接觸軸承和一個深溝球軸承支撐，其中，上端的角接觸軸承內外圈兩側均固定，從而限制了軸的雙向移動，而深溝球軸承只內圈固定，當軸伸縮時可作軸向移動，工作穩定性好，能適應高速旋轉帶來的溫度變化。軸承的上方和下方均設計有迷宮密封，可以防止灰塵、水分和其它雜質進入軸承，提高軸承的壽命。上密封環與下密封環相互交叉，可防止冷卻液進入裝置內部。在多處添加迷宮密封，防止灰塵進入。裝置為中空裝置，中間安裝有真空管，下端接旋轉接頭，便于真空吸附。