[發(fā)明專利]晶片吸附式傳輸機(jī)械手無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010195936.6 | 申請日： | 2010-06-10 |
| 公開（公告）號： | CN101890710A | 公開（公告）日： | 2010-11-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 衣忠波;張瑋琪;馬林 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所 |
| 主分類號： | B25J9/02 | 分類號： | B25J9/02;B25J15/06;H01L21/677 |
| 代理公司： | 石家莊新世紀(jì)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 13100 | 代理人： | 張貳群 |
| 地址： | 065201 河北省三河市*** | 國省代碼： | 河北;13 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 晶片 吸附 傳輸 機(jī)械手 | ||
1.一種晶片吸附式傳輸機(jī)械手，包括電機(jī)，其特征在于懸臂(13)上裝有第三電機(jī)(14)，連接小軸(16)通過第三軸承(17)裝在懸臂(13)上，連接小軸(16)和第三電機(jī)(14)軸相連，連接小軸(16)的另一端設(shè)有可吸附晶片的真空吸盤(19)；懸臂(13)和三維或二維運(yùn)送裝置相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片吸附式傳輸機(jī)械手，其特征在于所述的第三電機(jī)(14)為步進(jìn)電機(jī)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片吸附式傳輸機(jī)械手，其特征在于所述的三維運(yùn)送裝置的結(jié)構(gòu)為：第一架體(2)上裝有第一電機(jī)(1)，第一電機(jī)(1)的軸和絲杠(5)相連，絲杠(5)通過第一軸承(4)裝在第一架體(2)上，絲杠(5)和滑塊式絲母(6)配合，滑塊式絲母(6)和裝在第一架體(2)上的直線滑軌(7)滑動(dòng)配合；第二架體(8)固定在滑塊式絲母(6)上，第二架體(8)上裝有第二電機(jī)(9)，第二電機(jī)(9)和連接軸(12)相連，連接軸(12)通過第二軸承(11)和懸臂(13)相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶片吸附式傳輸機(jī)械手，其特征在于所述的第一電機(jī)(1)、第二電機(jī)(9)均為伺服電機(jī)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片吸附式傳輸機(jī)械手，其特征在于所述的二維空間傳輸裝置的結(jié)構(gòu)為：第二架體(8)上裝有第二電機(jī)(9)，第二電機(jī)(9)和連接軸(12)相連，連接軸(12)通過第二軸承(11)和懸臂(13)相連。
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