[發(fā)明專(zhuān)利]單晶硅片堿性制絨液的添加劑及使用方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201010195095.9 | 申請(qǐng)日： | 2010-06-08 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN101851756A | 公開(kāi)（公告）日： | 2010-10-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 符黎明;符濤 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 常州時(shí)創(chuàng)能源科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C23F1/10 | 分類(lèi)號(hào)： | C23F1/10;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京知識(shí)律師事務(wù)所 32207 | 代理人： | 汪旭東 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 單晶硅 堿性 制絨液 添加劑 使用方法 | ||
1.用于單晶硅片堿性制絨液的添加劑，其特征在于其中包含的組分為：尿素(脲)、山梨醇和余量的水，其中所述水優(yōu)選為去離子水。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的添加劑，其中包含的組分和含量為：
尿素(脲)0.1-5％；
山梨醇0.1-3％；
余量的水，尿素和山梨醇的含量均為重量百分含量。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的添加劑，其中包含的組分和含量為：
尿素(脲)0.5-2％；
山梨醇1-2％；
余量的水，尿素和山梨醇的含量均為重量百分含量。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的添加劑，其中所述水為去離子水。
5.用于單晶硅片表面處理用的制絨劑的配制方法，包括
(1)將重量百分含量為0.5-10％的NaOH和3-9％的異丙醇溶于去離子水中，得到堿性制絨液，
(2)將權(quán)利要求1-4中任意一項(xiàng)的添加劑加入到堿性制絨液中，得到制絨劑，其中所述添加劑與制絨液的重量比為2-5∶100。
6.用于單晶硅片表面處理用的制絨劑的配制方法，包括
(1)將重量百分含量為1.1％的NaOH和6％的異丙醇溶于去離子水中，得到堿性制絨液，
(2)將權(quán)利要求1-4中任意一項(xiàng)的添加劑加入到堿性制絨液中，得到制絨劑，其中所述添加劑與制絨液的重量比為2-5∶100。
7.單晶硅片制絨方法，其特征在于，將權(quán)利要求1-4中任意一項(xiàng)的添加劑加入堿性制絨液中，然后將單晶硅片浸入到添加有添加劑的制絨液中進(jìn)行制絨，制絨時(shí)，溫度為70-80℃，制絨時(shí)間為720-900s，其中所述添加劑與制絨液的重量比為2-5∶100。
8.根據(jù)權(quán)利要求7的制絨方法，其特征在于所述堿性制絨液通過(guò)將重量百分含量為0.5-10％的NaOH和3-9％的異丙醇溶于去離子水中制成。
9.根據(jù)權(quán)利要求7的制絨方法，其特征在于所述堿性制絨液通過(guò)將重量百分含量為1.1％的NaOH和6％的異丙醇溶于去離子水中制成。
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