[發明專利]啟動加注處理方法和啟動加注處理裝置

有效

• 申請號: 201010194786.7
• 申請日: 2010-06-04
• 公開（公告）號: CN101905209A
• 公開（公告）日: 2010-12-08
• 發明（設計）人: 若元幸浩;田代佳;上田榮一
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C13/02;B05C11/10;B05C9/12;B05D1/26;G03F7/16
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種啟動加注處理方法，用于在非旋轉法的涂敷處理所用的狹縫噴嘴的噴出口附近形成涂敷液的液膜，以作為涂敷處理的預先準備，其特征在于，包括：

第1工序，為了進行1次量的啟動加注處理，使上述狹縫噴嘴的噴出口相對于水平配置的圓筒狀或圓柱狀的啟動加注輥的頂部隔開規定的間隙地平行相對，使上述狹縫噴嘴噴出恒定量的涂敷液之后使上述啟動加注輥旋轉，在上述啟動加注輥的外周面上卷繞上述被噴出的涂敷液的一部分；

第2工序，使卷繞在上述啟動加注輥的外周面上的涂敷液的液膜干燥而成為第1干燥膜；

第3工序，為了進行另外1次量的啟動加注處理，使上述狹縫噴嘴的噴出口避開上述第1干燥膜地相對于上述啟動加注輥的頂部隔開規定的間隙地平行相對，使上述狹縫噴嘴噴出恒定量的涂敷液之后使上述啟動加注輥旋轉，在上述啟動加注輥的外周面上的、與上述第1干燥膜不同的區域上卷繞上述被噴出的涂敷液的一部分；

第4工序，通過清洗，一并去除附著在上述啟動加注輥外周面上的液膜或干燥膜。

2.根據權利要求1所述的啟動加注處理方法，其特征在于，

上述第2工序使在上述第1工序中開始的上述啟動加注輥的旋轉繼續，使上述涂敷液的液膜自然干燥。

3.根據權利要求1或2所述的啟動加注處理方法，其特征在于，

上述第4工序一邊使上述啟動加注輥旋轉一邊僅對上述啟動加注輥的外周面上的附著有液膜或干燥膜的區域噴射清洗液。

4.根據權利要求1或2所述的啟動加注處理方法，其特征在于，

在上述第4工序之前具有第5工序，該第5工序測量附著在上述啟動加注輥外周面上的液膜或干燥膜的范圍和膜厚，基于其測量結果，決定上述第4工序中的清洗液的使用量。

5.一種啟動加注處理方法，用于在非旋轉法的涂敷處理所用的狹縫噴嘴的噴出口附近形成涂敷液的液膜，以作為涂敷處理的預先準備，其特征在于，包括：

第1工序，使上述涂敷處理用的狹縫噴嘴或非涂敷處理用的另外的狹縫噴嘴相對于水平配置的圓筒狀或圓柱狀的啟動加注輥的頂部隔開規定的間隙地平行相對，使該狹縫噴嘴噴出涂敷液并且使上述啟動加注輥旋轉，在上述啟動加注輥的外周面上卷繞上述被噴出的涂敷液的一部分或全部；

第2工序，使卷繞在上述啟動加注輥的外周面上的涂敷液的液膜干燥而成為第1層干燥膜；

第3工序，為了進行1次量的啟動加注處理，使上述第1層干燥膜位于上述啟動加注輥的頂部，使上述涂敷處理用的狹縫噴嘴的噴出口相對于上述啟動加注輥的頂部隔開規定的間隙地平行相對，使上述狹縫噴嘴噴出恒定量的涂敷液之后使上述啟動加注輥旋轉，在上述第1層干燥膜上卷繞上述被噴出的涂敷液的一部分；

第4工序，通過清洗，一并去除附著在上述啟動加注輥外周面上的液膜或干燥膜。

6.根據權利要求5所述的啟動加注處理方法，其特征在于，

上述第1工序為了進行1次量的啟動加注處理，使上述涂敷處理用的狹縫噴嘴的噴出口相對于上述啟動加注輥的頂部隔開規定的間隙地平行相對，使上述狹縫噴嘴噴出恒定量的涂敷液之后使上述啟動加注輥旋轉，在上述啟動加注輥外周面上卷繞上述被噴出的涂敷液的一部分。

7.根據權利要求5或6所述的啟動加注處理方法，其特征在于，

上述第2工序使在上述第1工序中開始的上述啟動加注輥的旋轉繼續，使上述涂敷液的液膜自然干燥。

8.根據權利要求5或6所述的啟動加注處理方法，其特征在于，

在上述第2工序和上述第3工序之間具有第5工序和第6工序，

該第5工序測量上述第1層干燥膜的膜厚分布特性；

該第6工序基于上述膜厚分布特性的測量結果，在上述第1層干燥膜的膜厚均勻性超過固定的基準時得出允許實行上述第3工序的判定結果，在上述第1層干燥膜的膜厚均勻性不超過上述基準時得出應該中止實行第3工序的判定結果。

9.根據權利要求5或6所述的啟動加注處理方法，其特征在于，

上述第3工序中的旋轉方向的涂敷液卷繞尺寸比上述第1工序中的旋轉方向的涂敷液卷繞尺寸的1/2小。