[發(fā)明專利]多級干式真空泵人機操作裝置

無效

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• 申請日: 2010-06-04
• 公開（公告）號: CN102269155A
• 公開（公告）日: 2011-12-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張利國;郭麗娟;薛玉茹;王光玉;張振厚
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司
• 主分類號: F04B49/06
• 分類號: F04B49/06
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 李曉光

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及集成電路制造設(shè)備真空環(huán)境獲得領(lǐng)域，具體地說是一種多級干式真空泵人機操作裝置。?

背景技術(shù)

近幾年，隨著國內(nèi)集成電路(IC)行業(yè)的蓬勃發(fā)展，IC制造設(shè)備真空環(huán)境獲得裝置作為該行業(yè)不可或缺的設(shè)備也在日新月異的改進，干式真空泵因其潔凈無油等優(yōu)勢在本領(lǐng)域得到很好的應(yīng)用，由于IC行業(yè)對真空環(huán)境的要求十分苛刻，不同的工藝要求有不同的真空度、抽速曲線以及不同的氮氣清洗流量等各種參數(shù)，這就需要根據(jù)不同的生產(chǎn)工藝和應(yīng)用場合適當調(diào)整泵的控制參數(shù)以適應(yīng)現(xiàn)場需求，這樣傳統(tǒng)的真空泵有油污染的缺陷，并且沒有人機操作界面的缺陷也日見明顯，另外IC生產(chǎn)線要求長期運轉(zhuǎn)穩(wěn)定，同時一條生產(chǎn)線需要很多臺真空泵，生產(chǎn)線和泵房有一定距離，因此對干式真空泵的智能控制，尤其是可視化操作顯得尤為重要。?

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的不能滿足智能控制和可視化操作的不足之處，本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種多級干式真空泵人機操作裝置。?

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：?

本發(fā)明多級干式真空泵人機操作裝置包括單片機、電流驅(qū)動模塊、顯示屏，通訊模塊以及鍵盤，其中單片機為控制核心，通過通訊模塊接收各干式真空泵的運行參數(shù)和運行狀態(tài)，輸出至顯示屏對各干式真空泵的運行參數(shù)和運行狀態(tài)進行顯示；單片機的數(shù)字量輸入與鍵盤相連，接收用戶指令；單片機的數(shù)字量輸出端通過電流驅(qū)動模塊接有報警及狀態(tài)指示部件。?

所述通訊模塊通過網(wǎng)線與各泵通訊模塊的局域網(wǎng)接口相連；?

所述通訊模塊包括第1通訊模塊及第2通訊模塊，其中第1通訊模塊采用RS485串口，用于一對多遠程控制；第2通訊模塊采用RS232串口，用于一對一近距離控制；為整體集成于手控盒中的便攜形式。?

本發(fā)明具有以下有益效果及優(yōu)點：?

1.本發(fā)明采用便攜式手控盒，能夠在手控盒的顯示屏上顯示多種參數(shù)，隨時了解多級干式真空泵的工作狀態(tài)，在運行過程中可以一目了然的知道各泵的工作狀態(tài)和參數(shù)，極大地方便了操作人員。?

2.本發(fā)明以單片機為核心控制器件，利用按鍵靈活方便的輸入報警點或者保護點，當泵工作在報警點或者保護點時，電路進行報警或停機保護，很好的確保設(shè)備和現(xiàn)場的安全。?

3.本發(fā)明預(yù)設(shè)有兩種通訊模式，能夠通過RS232、RS485兩種通訊模?式，既可以用RS232接口進行一對一的控制又可以用RS485接口進行一對多的群控，操作方便靈活。?

附圖說明

圖1為本發(fā)明電路結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖2為本發(fā)明電路原理圖。?

具體實施方式

下面結(jié)合附圖及實施例對本發(fā)明作進一步詳細說明。?

實施例1?

本發(fā)明多級干式真空泵人機操作裝置包括單片機U1、電流驅(qū)動模塊U2、顯示屏，通訊模塊以及鍵盤，其中單片機U1為控制核心，通過通訊模塊接收各干式真空泵的運行參數(shù)和運行狀態(tài)，輸出至顯示屏對各干式真空泵的運行參數(shù)和運行狀態(tài)進行顯示；單片機U1的數(shù)字量輸入與鍵盤相連，接收用戶指令；單片機U1的數(shù)字量輸出端通過電流驅(qū)動模塊U2接有報警及狀態(tài)指示部件。?

所述通訊模塊通過網(wǎng)線與各泵通訊模塊的局域網(wǎng)接口相連。?

本實施例中的具體連接關(guān)系為：第1～10鍵盤K1～K10作為指令輸入，接至單片機U1的數(shù)字量輸入腳P1.0～P1.7及P2.7、P2.6，單片機循環(huán)掃描IO口狀態(tài)，當無按鍵輸入時IO口為高電平，當有按鍵按下時IO口的相應(yīng)腳為低電平，單片機U1檢測到低電平后，轉(zhuǎn)去處理按鍵操作。?

電流驅(qū)動芯片U2的數(shù)據(jù)輸入端1腳～8腳與單片機U1的數(shù)字量輸出腳P4.0～P4.7相連，電流驅(qū)動芯片U2的數(shù)據(jù)輸出端18～10管腳通過第1～8電阻R1～R8，連接蜂鳴器BZ1和第1～7指示燈D1～D7。?

顯示屏采用液晶顯示屏U3，其數(shù)據(jù)輸入端7～14腳接至單片機U1的數(shù)字端口P7.0～P7.7，液晶顯示屏U3的控制管腳第4～6腳與單片機的控制輸出端P6.5～P6.7相連，第9～11電阻R9～R11為上拉電阻，接液晶顯示屏U3的第4～6腳和電源之間。?