[發明專利]振動式單框架微控制力矩陀螺

有效

• 申請號: 201010191179.5
• 申請日: 2010-06-03
• 公開（公告）號: CN101881616A
• 公開（公告）日: 2010-11-10
• 發明（設計）人: 常洪龍;焦文龍;付乾炎;苑偉政
• 申請（專利權）人: 西北工業大學
• 主分類號: G01C19/56
• 分類號: G01C19/56;B81B3/00
• 代理公司: 西北工業大學專利中心 61204
• 代理人: 呂湘連

1.一種振動式單框架微控制力矩陀螺，其特征在于，由結構層(1)和基底(3)構成；結構層(1)材料為半導體材料，基底(3)是可以與結構層(1)材料鍵合的絕緣材料；

所述的結構層(1)包括由中心圓(11)和扇環(5)組成的轉子(16)、折疊梁(7)、活動梳齒(10)、固定梳齒(9)、外框(4)，所有結構厚度一致；中心圓(11)的周向均布有若干個以中心圓(11)半徑為內徑的扇環(5)，扇環(5)的外徑小于外框(4)到中心圓(11)圓心的最小距離，每個扇環(5)兩側徑向對稱分布有若干個活動梳齒(10)，每個活動梳齒(10)與對應的固定梳齒(9)構成一組梳齒對，固定梳齒(9)通過梳齒錨點(8)與基底(3)相連；每兩個相鄰的扇環(5)之間布有一個將外框(4)和轉子(16)連接起來的折疊梁(7)，外框(4)通過外框錨點(6)懸置在基底(3)上；

對應結構層(1)上的外框錨點(6)的位置，基底(3)上布有相應的鍵合點(14)，在基底(3)上與外框(4)的四個頂點對應的位置布有四個外框驅動用電極(12)；對應結構層(1)上的固定梳齒(9)的位置，基底(3)上布有若干個梳齒驅動用電極(15)；基底(3)上的鍵合點(14)、外框驅動用電極(12)、梳齒驅動用電極(15)通過導線(13)引至相應的打線點(2)。

2.一種振動式單框架微控制力矩陀螺，其特征在于，所述的外框驅動用電極12沿X方向的最遠距離L和結構層1的X向最寬尺寸L₀之間的關系滿足：L＜0.4404?L₀。