[發明專利]基于微小孔激光器的掃描近場光學顯微鏡系統

有效

• 申請號: 201010191175.7
• 申請日: 2010-05-26
• 公開（公告）號: CN101881786A
• 公開（公告）日: 2010-11-10
• 發明（設計）人: 宋國峰;胡海峰;徐云;陳良惠
• 申請（專利權）人: 中國科學院半導體研究所
• 主分類號: G01Q60/18
• 分類號: G01Q60/18;G01Q60/22
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 湯保平

1.一種基于微小孔激光器的掃描近場光學顯微鏡系統，包括：

一近場激發樣品臺，該近場激發樣品臺包括一懸臂，該近場激發樣品臺用于放置樣品；

一半導體微小孔激光器，該半導體微小孔激光器安裝于近場激發樣品臺的懸臂上；

一探測器，該探測器位于樣品臺的下方，與半導體微小孔激光器相對；

一信號處理器，該信號處理器的輸入端與探測器的輸出端連接，用于收集處理探測器的數據；

一Z軸控制裝置，該Z軸控制裝置通過信號處理器控制近場激發樣品臺的Z軸移動，以便控制半導體微小孔激光器與近場激發樣品臺的距離；

一X-Y掃描裝置，該X-Y掃描裝置通過信號處理器控制半導體微小孔激光器對近場激發樣品臺上的樣品進行掃描。

2.根據權利要求1所述的基于微小孔激光器的掃描近場光學顯微鏡系統，其中在半導體微小孔激光器是在邊發射半導體激光器的前腔面上鍍一層金屬薄膜形成的，在前腔面的中心位置開有納米結構的出光孔。

3.根據權利要求1所述的基于微小孔激光器的掃描近場光學顯微鏡系統，其中半導體微小孔激光器采用P面向上的封裝方式，其前腔面帶有納米結構的出光孔，該納米結構的出光孔位置突出于半導體微小孔激光器中熱沉的前端。

4.根據權利要求2所述的基于微小孔激光器的掃描近場光學顯微鏡系統，其中納米結構的出光孔的周圍帶有周期為亞波長量級的環形光柵結構。

5.根據權利要求1所述的基于微小孔激光器的掃描近場光學顯微鏡系統，其中半導體微小孔激光器的激射波長為405nm、450nm、650nm、750nm、808nm或980nm。

6.根據權利要求1或2所述的基于微小孔激光器的掃描近場光學顯微鏡系統，其中半導體微小孔激光器的金屬薄膜是采用電子束蒸發工藝或磁控濺射工藝進行生長制備的，金屬薄膜厚度取值范圍為100nm到400nm。

7.根據權利要求2或4所述的基于微小孔激光器的掃描近場光學顯微鏡系統，其中的納米結構的出光孔和周期為亞波長量級的環形光柵結構均采用聚焦離子束刻蝕的方法制備的。

8.根據權利要求1所述的基于微小孔激光器的掃描近場光學顯微鏡系統，其中X-Y掃描裝置的掃描范圍為2×2μm。