[發明專利]微機電電容式麥克風有效
| 申請號： | 201010189359.X | 申請日： | 2010-05-26 |
| 公開（公告）號： | CN102264020A | 公開（公告）日： | 2011-11-30 |
| 發明（設計）人： | 方維倫;詹竣凱 | 申請（專利權）人： | 國立清華大學 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人： | 吳貴明 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微機 電容 麥克風 | ||
1.一種微機電電容式麥克風，其特征在于，所述微機電電容式麥克風(20)包括：
一基座(21)，所述基座(21)開設一背腔(26)；
一背極板(24)，所述背極板(24)設置于所述基座(24)上，并開設有多個音孔(25)，且這些音孔(25)連通所述背腔(26)；
一彈性元件(23)，所述彈性元件(23)設置于所述基座(21)上；以及
一剛性振膜(22)，所述剛性振膜(22)設置于所述彈性元件(23)上，并平行于且對應于所述背極板(24)而設置；
因此，當一音波作用于所述剛性振膜(22)時，所述剛性振膜(22)能夠借助彈性元件(23)的彈性作用而平行于所述背極板(24)的法向量方向位移。
2.根據權利要求1所述的微機電電容式麥克風，其特征在于，所述微機電電容式麥克風(20)還包括一支撐件(27)，所述支撐件(27)設置于所述彈性元件(23)與所述剛性振膜(22)之間，借以將所述剛性振膜(22)承固于所述彈性元件(23)上。
3.根據權利要求2所述的微機電電容式麥克風，其特征在于，所述剛性振膜(22)為圓形，且所述支撐件(27)承固于所述剛性振膜(22)的圓心處。
4.根據權利要求1所述的微機電電容式麥克風，其特征在于，所述剛性振膜(22)還包含設置于所述剛性振膜(22)的一側的多個結構加強部。
5.根據權利要求1所述的微機電電容式麥克風，其特征在于，所述背極板(24)還包括設置于所述背極板(24)的一側的多個結構加強部(29)。
6.根據權利要求1所述的微機電電容式麥克風，其特征在于，所述基座(21)的材質為硅。
7.根據權利要求1所述的微機電電容式麥克風，其特征在于，所述剛性振膜(22)與所述背極板(24)的材質為多晶硅。
8.根據權利要求1所述的微機電電容式麥克風，其特征在于，所述微機電電容式麥克風(20)還包括至少一絕緣件(28)，所述絕緣件(28)設置于所述剛性振膜(22)與所述背極板(24)之間，用以避免所述剛性振膜(22)電性接觸所述背極板(24)。
9.根據權利要求8所述的微機電電容式麥克風，其特征在于，所述絕緣件(28)的材質為氮化硅。
10.一種微機電電容式麥克風，其特征在于，所述微機電電容式麥克風(20)包括一背極板(24)、一彈性元件(23)以及一剛性振膜(22)；其中，所述剛性振膜(22)設置于所述彈性元件(23)上，所述剛性振膜(22)與所述背極板(24)對應且平行設置；因此，當一音波作用于所述剛性振膜(22)時，所述剛性振膜(22)能夠借助彈性元件(23)的彈性作用而平行于所述背極板(24)的法向量方向位移。
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