[發(fā)明專利]微機(jī)電電容式麥克風(fēng)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010189358.5
• 申請(qǐng)日: 2010-05-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102264019A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-11-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 方維倫;詹竣凱
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 國(guó)立清華大學(xué)
• 主分類號(hào): H04R19/04
• 分類號(hào): H04R19/04
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 吳貴明

1.一種微機(jī)電電容式麥克風(fēng)，其特征在于，所述微機(jī)電電容式麥克風(fēng)包括：

一基座(21)，所述基座(21)開(kāi)設(shè)一背腔(26)；

一背極板(24)，所述背極板(24)設(shè)置于所述基座(21)上，并開(kāi)設(shè)有多個(gè)音孔(25)，且這些音孔(25)連通所述背腔(26)；

一固定件(23)，設(shè)置于所述基座(21)上，所述固定件(23)還包括一支撐部(27)；

一振膜(22)，所述振膜(22)以中心部分承固于所述支撐部(27)，使所述振膜(22)平行于且對(duì)應(yīng)于所述背極板(24)而設(shè)置；因此，所述振膜(22)上的應(yīng)力可自所述支撐部(27)處朝外釋放。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電電容式麥克風(fēng)，其特征在于，所述振膜(22)以形心承固于所述支撐部(27)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微機(jī)電電容式麥克風(fēng)，其特征在于，所述振膜(22)為一圓形振膜，且所述支撐部(27)承固于所述振膜(22)的圓心。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電電容式麥克風(fēng)，其特征在于，所述振膜(22)以其對(duì)稱軸線承固于所述支撐部(27)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電電容式麥克風(fēng)，其特征在于，所述振膜(22)為一可撓式振膜。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電電容式麥克風(fēng)，其特征在于，所述振膜(22)為一剛性振膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電電容式麥克風(fēng)，其特征在于，所述背極板(24)還包括設(shè)置于所述背極板(24)的一側(cè)的多個(gè)結(jié)構(gòu)加強(qiáng)部。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電電容式麥克風(fēng)，其特征在于，所述基座(21)的材質(zhì)為硅。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電電容式麥克風(fēng)，其特征在于，所述振膜(22)與所述背極板(24)的材質(zhì)為多晶硅。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電電容式麥克風(fēng)，其特征在于，所述微機(jī)電電容式麥克風(fēng)還包括至少一絕緣件(28)，所述絕緣件(28)設(shè)置于所述振膜(22)與所述背極板(24)之間，用以避免所述振膜(22)電性接觸所述背極板(24)。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的微機(jī)電電容式麥克風(fēng)，其特征在于，所述絕緣件(28)的材質(zhì)為氮化硅。

12.一種微機(jī)電電容式麥克風(fēng)，其特征在于，所述微機(jī)電電容式麥克風(fēng)包括：一背極板(24)、一固定件(23)以及一振膜(22)；其中，所述固定件(23)包括一支撐部(27)，所述支撐部(27)承固于所述振膜(22)的形心，使所述振膜(22)對(duì)應(yīng)且平行設(shè)置于所述背極板(24)上；因此，所述振膜(24)上的應(yīng)力可自所述形心朝外釋放。

13.一種微機(jī)電電容式麥克風(fēng)，其特征在于，所述微機(jī)電電容式麥克風(fēng)包括一振膜(22)，所述振膜(22)通過(guò)中心部分承固于一支撐件而形成一固定端，所述振膜(22)的周緣則相對(duì)形成一自由端，藉以使所述振膜(22)上的應(yīng)力自所述固定端朝向所述自由端釋放。