[發明專利]非球面體測量方法以及裝置

無效

• 申請號: 201010189156.0
• 申請日: 2010-05-24
• 公開（公告）號: CN101922920A
• 公開（公告）日: 2010-12-22
• 發明（設計）人: 葛宗濤;孫萍
• 申請（專利權）人: 富士能株式會社
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 劉建

1.一種非球面體測量方法，對非球面體的面偏差及面偏斜進行測量，該非球面體通過具有由旋轉對稱的非球面構成的第1被測面及第2被測面而成，其特征在于，

所述非球面體測量方法通過包括以下步驟作為測量工序而成：

第1干涉條紋取得步驟，使用第1干涉儀對所述第1被測面的中心部照射第1測量光，且取得由該第1測量光的來自該第1被測面的返回光和第1參照光之光干涉所形成的第1干涉條紋的圖像數據；

第2干涉條紋取得步驟，使用第2干涉儀對所述第2被測面的中心部照射第2測量光，且取得由該第2測量光的來自該第2被測面的返回光和第2參照光之光干涉所形成的第2干涉條紋的圖像數據；

第1形狀數據取得步驟，基于所述第1干涉條紋的圖像數據，在所述第1干涉儀所設定的第1測量坐標系中，求出所述第1被測面的中心部的形狀數據即第1形狀數據；

第2形狀數據取得步驟，基于所述第2干涉條紋的圖像數據，在所述第2干涉儀所設定的第2測量坐標系中，求出所述第2被測面的中心部的形狀數據即第2形狀數據；

第1軸線數據取得步驟，基于所述第1形狀數據，在所述第1測量坐標系中，求出所述第1被測面的臍點即第1臍點的位置數據、該第1臍點中的該第1被測面的曲率中心即第1曲率中心的位置數據、通過該第1臍點及該第1曲率中心的第1軸線的位置數據；

第2軸線數據取得步驟，基于所述第2形狀數據，在所述第2測量坐標系中，求出所述第2被測面的臍點即第2臍點的位置數據、該第2臍點中的該第2被測面的曲率中心即第2曲率中心的位置數據、通過該第2臍點及該第2曲率中心的第2軸線的位置數據；

面偏差、面偏斜分析步驟，基于在所述第1軸線數據取得步驟及所述第2軸線數據取得步驟中所求出的各位置數據、和預先所確定的所述第1測量坐標系與所述第2測量坐標系的相對位置關系，求出所述面偏差及所述面偏斜。

2.如權利要求1所述的非球面體測量方法，其特征在于，

所述第1軸線數據取得步驟中，關于將所述第1被測面切斷的第1切斷平面進行假設設定、且將該第1切斷平面和該第1被測面之交線作為第1剖面曲線求出的處理，第1次是在任意位置設定最初的第1切斷平面而進行，第2次以后是在將之前所求出的第1剖面曲線中曲率取極值的點作為擬第1臍點求出之后，將其次的第1切斷平面按照在該擬第1臍點與之前的第1切斷平面垂直地相交的方式設定，由此至少進行2次，并且將最終所求出的第1剖面曲線的擬第1臍點設為所述第1臍點。

3.如權利要求2所述的非球面體測量方法，其特征在于，

所述第2軸線數據取得步驟中，關于將所述第2被測面切斷的第2切斷平面進行假設設定、且將該第2切斷平面和該第2被測面的交線作為第2剖面曲線求出的處理，第1次是在任意位置設定最初的第2切斷平面而進行，第2次以后是在將之前所求出的第2剖面曲線中曲率取極值的點作為擬第2臍點求出之后，將其次的第2切斷平面按照在該擬第2臍點與之前的第2切斷平面垂直地相交的方式設定，由此至少進行2次，并且將最終所求出的第2剖面曲線的擬第2臍點設為所述第2臍點。

4.如權利要求1至3中的任一項所述的非球面體測量方法，其特征在于，

所述非球面體是非球面透鏡。

5.一種非球面體測量裝置，對非球面體的面偏差及面偏斜進行測量，該非球面體通過具有由旋轉對稱的非球面構成的第1被測面及第2被測面而成，其特征在于，

所述非球面體測量裝置通過具備以下部件而成：

第1干涉儀，對所述第1被測面的中心部照射第1測量光，得到由該第1測量光的來自該第1被測面的返回光和第1參照光之光干涉所形成的第1干涉條紋的圖像數據；

第2干涉儀，對所述第2被測面的中心部照射第2測量光，得到由該第2測量光的來自該第2被測面的返回光和第2參照光之光干涉所形成的第2干涉條紋的圖像數據；

第1形狀數據取得機構，基于所述第1干涉條紋的圖像數據，在所述第1干涉儀所設定的第1測量坐標系中，求出所述第1被測面的中心部的形狀數據即第1形狀數據；

第2形狀數據取得機構，基于所述第2干涉條紋的圖像數據，在所述第2干涉儀所設定的第2測量坐標系中，求出所述第2被測面的中心部的形狀數據即第2形狀數據；

第1軸線數據取得機構，基于所述第1形狀數據，在所述第1測量坐標系中，求出所述第1被測面的臍點即第1臍點的位置數據、該第1臍點中的該第1被測面的曲率中心即第1曲率中心的位置數據、通過該第1臍點及該第1曲率中心的第1軸線的位置數據；

第2軸線數據取得機構，基于所述第2形狀數據，在所述第2測量坐標系中，求出所述第2被測面的臍點即第2臍點的位置數據、該第2臍點中的該第2被測面的曲率中心即第2曲率中心的位置數據、通過該第2臍點及該第2曲率中心的第2軸線的位置數據；

面偏差、面偏斜分析機構，基于由所述第1軸線數據取得機構及所述第2軸線數據取得機構所求出的各位置數據、和預先所確定的所述第1測量坐標系與所述第2測量坐標系的相對位置關系，求出所述面偏差以及所述面偏斜。