[發明專利]薄板加熱輸送裝置在審
| 申請號: | 201010187951.6 | 申請日: | 2010-05-25 |
| 公開(公告)號: | CN101958265A | 公開(公告)日: | 2011-01-26 |
| 發明(設計)人: | 楊明生;劉惠森;范繼良;王銀果;王曼媛;王勇 | 申請(專利權)人: | 東莞宏威數碼機械有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/00;H01L51/56 |
| 代理公司: | 廣州三環專利代理有限公司 44202 | 代理人: | 張艷美;郝傳鑫 |
| 地址: | 523000 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 薄板 加熱輸送 裝置 | ||
技術領域
本發明涉及一種薄板加熱輸送裝置,尤其涉及一種適用于對有機發光二極管中的薄板進行加熱和輸送的薄板加熱輸送裝置。
背景技術
隨著社會的不斷進步,經濟的不斷發展,以及科學技術的不斷提高,為OLED(英文全稱為:Organic?Light-Emitting?Diode,中文名稱為:有機發光二極管)的發展提供一個良好的平臺,正由于OLED的蓬勃發展,從而為應用在OLED生產線上對OLED的薄板進行加熱和輸送的各種設備發展創造良好的條件,促使應用于OLED生產線上對OLED中的薄板進行加熱和輸送的設備朝結構簡單化、性能集成化及成本低廉化的目標發展。
目前,現有的用于對有機發光二極管的薄板進行加熱和輸送通常是由加熱裝置和輸送裝置這兩個分隔開的裝置來執行,其執行的流程如下:首先,輸送裝置承接上一道工序輸送來的有機發光二極管的薄板,并將有機發光二極管的薄板輸送到加熱裝置內。接著,加熱裝置對有機發光二極管的薄板進行加熱,直到將薄板加熱到滿足工藝標準為止。最后,輸送裝置再將加熱后的薄板輸送到下一道工序中執行相對應的操作。
然而,上述的輸送裝置將有機發光二極管的薄板輸送到加熱裝置內,由加熱裝置對有機發光二極管中薄板進行加熱到符合工藝標準為止,然后再由輸送裝置將加熱后的有機發光二極管中的薄板輸送到下一道工序處執行相對應的操作,這一方面使得輸送裝置與加熱裝置之間的連貫性極差,不利于提高有機發光二極管中薄板的處理效率;另一方面使得由上述的加熱裝置和輸送裝置組成的加熱輸送設備的結構復雜,且制造成本更高。
發明內容
本發明的目的在于提供一種薄板加熱輸送裝置,該薄板加熱輸送裝置能對有機發光二極管中的薄板進行輸送的同時對薄板進行加熱,提高薄板的加熱和輸送的連貫性,從而提高了薄板的處理效率。同時,本發明薄板加熱輸送裝置的結構簡單和成本低廉。
為實現上述目的,本發明提供了一種薄板加熱輸送裝置,適用于對有機發光二極管中的薄板進行加熱并輸送,所述薄板加熱輸送裝置包括底座、水平輸送機構、加熱裝置及豎直升降機構。所述底座沿平行于水平面的方向設置。所述水平輸送機構呈對應地設置于所述底座的相對的兩側上,每一所述水平輸送機構包括水平直線驅動器、傳動部件及若干相互對應的搖桿軸和薄板托手,所述搖桿軸的下端與所述底座樞接,且所述搖桿軸與所述底座相互垂直,位于同一側的所述搖桿軸位于同一直線上,所述薄板托手具有連接端及沿所述連接端延伸出的呈水平的承載端,所述薄板托手的連接端與對應的所述搖桿軸的上端固定連接,所述薄板托手的承載端懸置于所述底座上,且懸置于所述底座的相對的兩側上的薄板托手的承載端形成供薄板傳輸的輸送區,所述傳動部件的一端與所述水平直線驅動器的輸出端連接,所述傳動部件的另一端與所述搖桿軸固定連接,所述水平直線驅動器通過所述傳動部件驅動所述薄板托手做往復旋轉運動,旋轉的薄板托手推動承載于承載端上的薄板在所述輸送區內沿水平方向輸送。所述加熱裝置安裝于所述底座上并位于所述輸送區正下方。所述豎直升降機構包括豎直升降驅動器及升降部件,所述豎直升降驅動器安裝于所述底座的下方,所述升降部件的一端與所述豎直升降驅動器的輸出端連接,所述升降部件的另一端依次穿過所述底座和加熱裝置且伸入所述輸送區,所述豎直升降驅動器驅動所述升降部件在豎直方向做往復運動,所述薄板托手輸送薄板至所述加熱裝置正上方,所述升降部件上升并承載薄板使薄板脫離薄板托手從而加熱裝置對薄板加熱。
較佳地,所述傳動部件包括連桿及與所述搖桿軸對應的搖桿,所述搖桿的一端與所述搖桿軸固定連接,所述搖桿的另一端與所述連桿樞接,一所述搖桿具有沿所述輸送區延伸形成的傳動端,所述搖桿軸與傳動端位于所述連桿的兩側,所述連桿呈水平懸空設置,所述傳動端與所述水平直線驅動器的輸出端連接,所述水平直線驅動器驅動所述傳動端,所述傳動端通過所述連桿帶動所述搖桿旋轉,轉旋的搖桿帶動固定于所述搖桿軸上的薄板托手旋轉。通過由上述的搖桿和連桿組成的傳動部件,使得傳動部件的結構簡單,成本低廉,且能使與傳動部件連接的各搖桿軸協調的工作,確保薄板托手作動的精準性,從而為薄板的精準輸送提供極其優異的條件;通過上述的傳動端,且傳動端與搖桿軸位于連桿的兩側,使得水平直線驅動器僅需驅動傳動端即能使所有搖桿均做同步協調的運動。具體地,所述搖桿相互平行且等間距的排列,使得各搖桿的作動更協調。
較佳地,所述水平直線驅動器及豎直升降驅動器均為氣缸馬達,使得水平直線驅動器和豎直升降驅動器的結構簡單、成本低下且工作可靠。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





