[發明專利]一種改進太陽能電池的擴散方法

在審

• 申請號: 201010184832.5
• 申請日: 2010-05-27
• 公開（公告）號: CN102263153A
• 公開（公告）日: 2011-11-30
• 發明（設計）人: 陳佰江
• 申請（專利權）人: 寧波百事德太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;C30B31/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種改進太陽能電池的擴散方法，其特征在于：

第一步：采用硅原料，導電類型P型；

第二步：擴散：把上述硅原料在850～900℃氣氛中與氧氣，三氯氧磷發生化學反應，產生磷、五氯化磷、五氧化二磷、氯氣；主要化學方程式如下：

Si+O2＝SiO2

5POCl3＝P2O5+3PCl5(高溫)

4PCl5+5O2＝2P2O5+10Cl2(高溫)

2P2O5+5Si＝4P+5SiO2；

第三步：高溫通氧推進，擴散步驟后再通入氧氣3L/min，與未消耗完的PCl5繼續反應產生磷：4PCl5+5O2＝2P2O5+10Cl2(高溫)

2P2O5+5Si＝4P+5SiO；

第四步：通氧推進后繼續通入大氮30L/min，停止通小氮，氧氣3L/min，持續600s；溫度控制在830～900℃；

第五步：經過上述步驟，得到表面方塊為48～52Ω/□硅片。

2.根據權利要求1所述的一種改進太陽能電池的擴散方法，其特征在于：所述的第二步擴散的溫度控制在：850～890℃；擴散氣體流量：大氮：25～35L/min；小氮1.1L/min；氧氣1.5～2.8L/min；持續時間為2000s。

3.根據權利要求1所述的一種改進太陽能電池的擴散方法，其特征在于：所述的第三步高溫推進的溫度控制在870～890℃；氣體流量：大氮25L/min；停止通小氮；氧氣：3L/min；時間500s。