[發明專利]壓印痕寬度檢測裝置及方法

有效

• 申請號: 201010181472.3
• 申請日: 2010-05-19
• 公開（公告）號: CN102252615A
• 公開（公告）日: 2011-11-23
• 發明（設計）人: 宋勇志;魯姣明;王煦;羅會月
• 申請（專利權）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;G02F1/13
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種壓印痕寬度檢測裝置，其特征在于，包括支撐并帶動圖像獲取裝置移動的支撐移動結構，所述圖像獲取裝置用于獲取所述待測基板上的壓印痕圖像；

所述壓印痕寬度檢測裝置還包括測量系統，用于測量所述壓印痕圖像中的壓印痕寬度。

2.根據權利要求1所述的壓印痕寬度檢測裝置，其特征在于，所述支撐移動結構包括分別設置于待測基板兩側的兩條支撐條；所述兩條支撐條上架設有沿所述兩條支撐條移動的桿體，所述桿體上設有沿所述桿體移動的圖像獲取裝置。

3.根據權利要求2所述的壓印痕寬度檢測裝置，其特征在于，所述桿體上設置有沿所述桿體移動的安裝架，所述圖像獲取裝置安裝在所述安裝架上，并且所述圖像獲取裝置沿所述安裝架移動。

4.根據權利要求3所述的壓印痕寬度檢測裝置，其特征在于，所述安裝架上還設有液晶滴注裝置。

5.根據權利要求2、3或4所述的壓印痕寬度檢測裝置，其特征在于，所述兩個支撐條之間設有支撐所述待測基板的支撐腳。

6.根據權利要求5所述的壓印痕寬度檢測裝置，其特征在于，所述支撐腳使用透明的有機玻璃材料制成。

7.根據權利要求5所述的壓印痕寬度檢測裝置，其特征在于，所述兩個支撐條之間設有照向所述待測基板的板狀背光源，所述支撐腳設置在背光源之上；或者所述兩個支撐條之間設有照向所述待測基板的點狀背光源，所述點狀背光源分布在所述支撐腳之間。

8.根據權利要求7所述的壓印痕寬度檢測裝置，其特征在于，所述板狀背光源上面貼有一層偏光片，所述偏光片偏光方向和所述待測基板上的壓印痕取向平行。

9.根據權利要求8所述的壓印痕寬度檢測裝置，其特征在于，在所述圖像獲取裝置獲取圖像的光路上加裝可旋轉的偏光濾鏡。

10.根據權利要求1至4中任一權利要求所述的壓印痕寬度檢測裝置，其特征在于，所述圖像獲取裝置上設有照向所述待測基板的光源。

11.一種壓印痕寬度檢測方法，利用壓印痕寬度檢測裝置進行檢測，其特征在于，所述壓印痕寬度檢測裝置包括支撐并帶動圖像獲取裝置移動的支撐移動結構、及測量系統，所述壓印痕寬度檢測方法包括：

通過所述圖像獲取裝置獲取所述待測基板上的壓印痕圖像；

通過所述測量系統測量所述壓印痕圖像中的壓印痕寬度。

12.根據權利要求11所述的壓印痕寬度檢測方法，其特征在于，所述支撐移動結構包括分別設置于待測基板兩側的兩條支撐條；所述兩條支撐條上架設有沿所述兩條支撐條移動的桿體，所述圖像獲取裝置沿所述桿體移動。

13.根據權利要求12所述的壓印痕寬度檢測方法，其特征在于，所述桿體上設置有沿所述桿體移動的安裝架，所述圖像獲取裝置安裝在所述安裝架上，并且所述圖像獲取裝置沿所述安裝架移動；在通過所述圖像獲取裝置獲取所述待測基板上的壓印痕圖像之前，所述方法還包括：

沿所述支撐條移動所述桿體，沿所述桿體移動所述圖像獲取裝置，沿所述安裝架移動所述圖像獲取裝置，將所述圖像獲取裝置移動到能夠獲取清晰的壓印痕圖像的位置。

14.根據權利要求11至13任一權利要求所述的壓印痕寬度檢測方法，其特征在于，所述測量所述壓印痕圖像中的壓印痕寬度包括：

獲取所述壓印痕圖像需測量部分的兩個邊界線；

計算所述需測量部分的兩個邊界線之間的距離，得到所述壓印痕圖像中的壓印痕寬度。

15.根據權利要求14所述的壓印痕寬度檢測方法，其特征在于，所述壓印痕寬度檢測裝置設有液晶滴注裝置和板狀背光源，且所述板狀背光源上面貼有一層偏光片，所述偏光片偏光方向和所述待測基板上的壓印痕取向平行，在通過所述圖像獲取裝置獲取所述待測基板上的壓印痕圖像之前，所述方法還包括：

通過所述液晶滴注裝置向待測壓印痕中滴注液晶，所述偏光方向和所述液晶分子的取向平行。