[發(fā)明專(zhuān)利]一種靜壓氣浮軸承的性能檢測(cè)裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010180373.3
• 申請(qǐng)日: 2010-05-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101852684A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-10-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李運(yùn)堂;袁柯銘
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)計(jì)量學(xué)院
• 主分類(lèi)號(hào): G01M13/04
• 分類(lèi)號(hào): G01M13/04
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種靜壓氣浮軸承的性能檢測(cè)裝置，它至少包括：基座(1)、薄膜壓力傳感器(2)、調(diào)壓閥(3)、進(jìn)氣管(4)、氣體壓力表(5)、被測(cè)靜壓氣浮軸承(6)、壓板(7)、軸承固定件(8)、軸承連接件(9)、線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)器連接件(10)、限位螺栓(11)、線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)器(12)、機(jī)架(13)、支架(14)、力傳感器(15)、位移傳感器(16)、從動(dòng)齒輪(17)、主動(dòng)齒輪(18)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)(19)和旋轉(zhuǎn)編碼器(20)，

其特征在于：

所述的薄膜壓力傳感器(2)固定在基座(1)上，調(diào)壓閥(3)和氣體壓力表(5)安裝在進(jìn)氣管(4)上，被測(cè)靜壓氣浮軸承(6)通過(guò)壓板(7)、軸承固定件(8)、軸承連接件(9)、線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)器連接件(10)以及限位螺栓(11)安裝在線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)器(12)上，線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)器(12)與機(jī)架(13)固定，機(jī)架(13)固定在支架(14)上，力傳感器(15)固定在線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)器連接件(10)上，位移傳感器(16)固定在被測(cè)靜壓氣浮軸承(6)上和基座(1)上，驅(qū)動(dòng)電機(jī)(19)固定在基座(1)上，旋轉(zhuǎn)編碼器(20)安裝在驅(qū)動(dòng)電機(jī)(19)的下部，驅(qū)動(dòng)電機(jī)(19是)通過(guò)主動(dòng)齒輪(18)和從動(dòng)齒輪(17)驅(qū)動(dòng)支架(14)轉(zhuǎn)動(dòng)的。