[發(fā)明專利]基于光刻等微納制造工藝的植入式生物電極及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010180340.9
• 申請日: 2010-05-21
• 公開（公告）號: CN101829401A
• 公開（公告）日: 2010-09-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉亞雄;秦歌;丁玉成;王會友;白宗旭;杜如坤
• 申請（專利權(quán)）人: 西安交通大學(xué)
• 主分類號: A61N1/05
• 分類號: A61N1/05;C23C28/02;C23C14/14;C25D7/00
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200
• 代理人: 陸萬壽

1.一種基于光刻等微納制造工藝的植入式生物電極，包括刺激點(1)，螺旋金屬引線(2)和連接端金屬環(huán)(3)，其特征在于：在金屬芯線(4)上包有絕緣套管(6)，在絕緣套管(6)上有螺旋金屬引線(2)，螺旋金屬引線(2)和絕緣套管(6)封裝在聚氨酯絕緣層(5)里，在聚氨酯絕緣層(5)兩端分別淀積有刺激點(1)和連接端金屬環(huán)(3)，刺激點(1)和連接端金屬環(huán)(3)分別于兩端預(yù)留的螺旋線金屬引線(2)相連，刺激點(1)表層電鍍有惰性金屬氧化物。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的植入式生物電極，其特征在于：所述的刺激點(1)和連接金屬環(huán)(3)通過濺射或蒸鍍與金屬螺旋線(2)相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的植入式生物電極，其特征在于：所述的螺旋金屬引線(2)附著在絕緣套管(6)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的植入式生物電極，其特征在于：所述的螺旋金屬引線(2)和絕緣套管(6)是被包裹在聚氨酯絕緣層(5)里面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的植入式生物電極，其特征在于：所述的惰性金屬氧化物為氧化銥。

6.一種基于光刻等微納制造工藝的植入式生物電極的制備方法，其特征在于：

1)通過濺射或蒸鍍在聚氨酯絕緣套管(6)淀積上一層金屬薄膜；

2)將淀積的金屬薄膜通過光刻和刻蝕工藝制作出螺旋金屬引線結(jié)構(gòu)；

3)通過電鍍金屬來成型最終的螺旋金屬引線(2)，該層金屬厚度為0.03～0.1mm；

4)用三維建模軟件PROE設(shè)計出封裝模具，通過快速成型技術(shù)翻制出實際的硅橡膠封裝模具；

5)在絕緣套管(6)內(nèi)部穿入金屬芯線，然后將芯軸和螺旋金屬引線一起放入封裝模具中，用熱注塑或常溫注塑的方法對金屬螺旋引線進(jìn)行封裝，封裝時要留出適當(dāng)長度的螺旋金屬引線待后續(xù)連接刺激點和連接端金屬環(huán)，在留有螺旋金屬引線的部位要制作出凹槽來；

6)把留出的螺旋金屬引線纏入相應(yīng)的凹槽中，凹槽以外的部位用樹脂薄膜包裹起來，然后將其放入濺射室或蒸鍍腔，淀積0.5mm的金屬薄膜之后將其取出，拆去樹脂薄膜包裹層，淀積的金屬薄膜就隨其一起拆去，留下凹槽處的金屬，形成初始的刺激點和連接端金屬環(huán)，這樣刺激點和連接端金屬環(huán)就與螺旋金屬引線連接起來；

7)最后對刺激點電鍍上一層氧化銥；

8)修整，測試導(dǎo)通性，完成電極制作。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法，其特征在于，所述的金屬薄膜是金、銀、鉑或銥?zāi)ぁ?/p>