[發明專利]可拆卸式進出氣結構及其導電膜成膜裝置

無效

• 申請號: 201010180112.1
• 申請日: 2010-05-14
• 公開（公告）號: CN102242349A
• 公開（公告）日: 2011-11-16
• 發明（設計）人: 李炳寰;洪麗玲;江鴻儒;簡永杰;蔡明雄;胡英杰
• 申請（專利權）人: 亞樹科技股份有限公司
• 主分類號: C23C16/40
• 分類號: C23C16/40;C23C16/455
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 陳紅

技術領域

本發明是有關于一種可拆卸式進出氣結構及其導電膜成膜裝置，且特別是有關于一種具備可替換性的可拆卸式進出氣結構。

背景技術

液晶顯示元件、電激發光元件等的各種顯示元件或薄膜太陽電池的電極，其電極主要為具有可見光線透過率高，且電阻低的透明導電性的薄膜。因此，透明導電膜成為完成現今各種顯示器元件中不可或缺的電極材料。例如氧化銦錫(Indium?Tin?Oxide，ITO)或氧化錫(Tin?Oxide，TO)、摻雜有氟的錫氧化物(Fluorine-doped?Tin?Oxide，FTO)等導電性金屬氧化物為主要成分的膜，兼具對可見光優異的透明性及優異的電性傳導性。

此外，一般制造透明導電膜的裝置的使用，例如電漿CVD方法。此方法將既有的靶材，以電漿的方式在基板上進行成膜。由于制程條件必須在真空(或接近真空)下進行，所以這樣的制程假如是以連續式操作的話，所必須使用的設備不僅復雜且昂貴，使得所制造的成品價格甚高。且銦(In)因為價格昂貴，資源有限，所以并不適合未來產業的發展。而氧化錫薄膜，由于價格低、在高溫下穩定性佳以及化性穩定，且用來形成氧化錫薄膜的鍍膜制程不需要在真空的環境下進行，所以這樣的制程條件對透明導電膜的發展極具競爭力。

習知制造氧化錫的導電膜裝置欲進行連續式操作的制程時需結合目前常用于浮法玻璃(在高溫下將熔化的玻璃液流在熔融的金屬液面上，浮飄拋光，成型為平整、光潔的平板玻璃)的制程及其退火制程。此習知技術必須將一浮法玻璃導入一體成型的隧道爐中，然而須根據反應物的制程條件對隧道爐進行改裝以符合不同制程需求這些制程條件，例如習知有在常壓下進行的化學氣相沉績法(CVD)制程。然而，對于沒有具備浮法制程的廠商，就無法施行氧化錫的鍍膜制程。

因此有需要提供一種能符合前述需求導電膜成膜裝置。

發明內容

因此，本發明的一態樣是在提供一種可拆卸式進出氣結構及其導電膜成膜裝置，將習知隧道爐中的成膜裝置模塊化成一獨立的裝置，借以由連接元件在前后分別連接所需制程的制程機臺，具有可替換的特性，而可直接與各種制程裝置組裝在一起，以節省進行改裝的成本及時間。

因此，本發明的另一態樣是在提供一種即使不具備浮法玻璃制程亦可連續量產透明導電薄膜的導電膜成膜裝置，并且可以利用習知的連接元件把多個本發明的導電膜成膜裝置串行成一連續生產制程。本發明的另一態樣是在提供一種可拆卸式進出氣結構及其導電膜成膜裝置，借由可拆卸式進出氣結構的獨立設計，因此導電膜成膜裝置的成膜原料供應管路以及排氣管路具有拆卸方便以及清洗容易的優點。

本發明的另一態樣是在提供一種可與既有浮法玻璃制以及既有玻璃退火設備結合的導電膜成膜裝置，而串接成一種進行噴霧裂解法的連續生產線以生產透明導電氧化錫。

根據本發明的上述目的，提出一種可拆卸式進出氣結構，其包含板體、排氣單元、成膜原料供應單元以及兩鎖固元件。排氣單元設置于該板體的一端。成膜原料供應單元設置于板體的另一端。兩鎖固元件分別將排氣單元以及成膜原料供應單元鎖固于板體上。排氣單元包含至少一抽氣管，每一個抽氣管具有一氣體流量控制閥。這些抽氣管共同具有一抽氣開口。成膜原料供應單元包含容室，容室具有一原料供應孔，設置于容室靠近排氣單元的一側面。

根據本發明的上述目的，提出一種導電膜成膜裝置，其包含爐體、輸送裝置、加熱器、可拆卸式進出氣結構、第一連接元件以及第二連接元件。爐體具有成膜室橫向貫穿爐體，成膜室具有基板輸入端以及基板輸出端。輸送裝置具有貫穿成膜室的輸送軌道。加熱器設置于輸送軌道下方。可拆卸式進出氣結構設置于成膜室上方且面對輸送裝置。第一連接元件設置于基板輸入端，以連接至第一制程裝置。第二連接元件設置于基板輸出端，以連接至第二制程裝置。其中可拆卸式進出氣結構包含板體、第一鎖固元件、排氣單元以及成膜原料供應單元。第一鎖固元件圍繞板體以將板體鎖固于爐體上。排氣單元設置于板體的一端，且鄰近成膜室的基板輸出端。成膜原料供應單元設置于板體的另一端，且鄰近成膜室的基板輸出端。

根據本發明的一實施例，上述可拆卸式進出氣結構還包含第二加熱器，設置于板體中，且位于排氣單元與成膜原料供應單元之間。

根據本發明的一實施例，上述排氣單元包含至少一個抽氣管，這些抽氣管具有共同的抽氣室，且這些抽氣管共同具有一抽氣開口。

根據本發明的一實施例，上述第一制程裝置是基板加熱裝置。

根據本發明的一實施例，上述第二制程裝置是基板退火裝置。