[發明專利]高反射鏡激光低損耗參數綜合測量裝置

有效

• 申請號: 201010179266.9
• 申請日: 2010-05-21
• 公開（公告）號: CN101839803A
• 公開（公告）日: 2010-09-22
• 發明（設計）人: 劉衛國;高愛華;秦文罡;王越;孫鑫
• 申請（專利權）人: 西安工業大學
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 西安新思維專利商標事務所有限公司 61114
• 代理人: 黃秦芳

技術領域

本發明屬于光學元件測試技術領域，具體涉及一種高反射鏡激光低損耗參數綜合測量裝置。

背景技術

低損耗高反射鏡在激光陀螺、高功率激光器等激光系統中有廣泛的應用和重要的作用。如典型的激光陀螺系統有一個多邊形（常見的是正四邊形或三角形）的光學諧振腔，高反射鏡（全反射鏡或低透射率的高反射鏡）是構成諧振腔的關鍵光學元件，一般其反射率高達99.99%以上。在研制高性能的激光陀螺過程中,要求環形腔中的高反射鏡具有很低的散射、透射和背散射損耗，因為環形激光陀螺中,激光腔各元件所產生的損耗是導致其出現閉鎖的重要原因。

準確地測量出高反射鏡的積分散射率、透射率、背向散射率等低損耗參數對提高反射鏡的精度和制造質量具有重要的指導意義，是指導高反射鏡生產的重要工藝手段。

從查閱的文獻資料可見，目前國內外在高反射鏡（或超光滑表面）的全積分散射測量方面可見少量報道。本發明項目組對國內外專利文獻和公開發表的期刊論文檢索，尚未發現與本發明密切相關或相同的報道和文獻。

發明內容

?本發明要提供一種高反射鏡激光低損耗參數綜合測量裝置，以填補現有技術在此領域內的空白。

為了解決現有技術存在的問題，本發明提供的技術方案是：

一種高反射鏡激光低損耗參數綜合測量裝置，包括設置于光學平臺上的光源組件和積分球，所述光源組件上設置有波片和衰減片，積分球上設置有光電倍增管，其特殊之處在于：還包括透射測量組件A、積分散射測量組件B和背散射測量組件C；

所述透射測量組件A設置于入射光的光路上，包括透射測量架和透射消光阱，其中透射消光阱根據入射光角度可調整位置，設置于反射光路徑上吸收反射光；

所述背散射測量組件B包括背散射光闌、背散射測量架和背散射消光阱，在穿過球心的入射光光路上的積分球壁上設置有背散射入射口和背散射測量口，背散射光闌設置于背散射入射口上，在背散射測量口外設置有背散射測量架，背散射測量架可以旋轉，在反射光的光路上設置有背散射消光阱；

所述積分散射測量組件C包括積分散射光闌、積分散射測量架和積分散射消光阱，在入射光光路上的積分球壁上設置有積分散射入射口和積分散射測量口，積分散射光闌設置于積分散射入射口上，積分散射測量架設置于積分散射測量口上，在積分散射測量口到積分散射消光阱之間的反射光路上的積分球壁上設置有積分散射出光口，在積分球內進入積分散射入射口的入射光與反射出積分球的反射光的光程近似相等，入射角為測量角；

所述入射口、測量口和出光口上均設置有配件，所述配件是標準白板。

上述透射測量組件A與積分球之間設置有可調的光路轉折裝置。

上述光路轉折裝置包括可移動的相對設置的第三反射鏡和第四反射鏡。

上述的波片設置有多個，分別設置于可旋轉的波片固定圓盤上，所述的衰減片設置有多個，分別設置于可旋轉的衰減片固定圓盤上。

上述波片固定圓盤上開有按90°對稱分布且中心位于同一圓周上的四個孔，其中3個孔分別安裝有兩片1/2波片和一片1/4波片，另一個為通孔；所述衰減片固定圓盤上開有按90°對稱分布且中心位于同一圓周上的四個孔，相對于波片固定圓盤上1/2波片和1/4波片的位置上設置的是1%、0.1%和0.01%的光衰減片，另一個為通孔。

上述透射測量架、積分測量架和背散射測量架均由電控轉臺加電控x-y平移臺組成，平移臺上設置有固定圈。固定圈用于安裝被測量的樣品。

本發明的技術效果：

本發明設計靈活，在同一裝置上實現了積分散射率、透射率、背向散射率測量，增強了裝置的測量功能，降低了測量成本。本發明既可以測量高反射鏡（樣品）的積分散射率，也可以測量低透射率樣品的透射率，還可以測量高反射鏡（樣品）的背向散射率，且測量時通過旋轉樣品可以自動改變入射角，三種測量均可以獲得樣品的二維測量值分布圖。

高反射鏡多點多軌跡積分散射率測試：測試范圍：10~1000ppm，光線入射角度45°；同點測試重復性：10~100ppm，測試重復性±1ppm；100~1000ppm，測試重復性±5ppm；

反射鏡多點多軌跡透射率測試：測試范圍60ppm~0.5%；測試樣品角度0~90°可調；同點測試重復性±10ppm；

高反射鏡多點多軌跡背散射率測試：測試范圍：10~1000ppm，光線入射角度30～45°可調；同點測試重復性：10~100ppm，測試重復性±1ppm；100~1000ppm，測試重復性±5ppm；

入射光偏振態：s-、p-線偏振光、圓偏振光。

附圖說明