[發(fā)明專利]太陽能電池擴散用石英管周轉車有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010178754.8 | 申請日: | 2010-05-12 |
| 公開(公告)號: | CN101866987A | 公開(公告)日: | 2010-10-20 |
| 發(fā)明(設計)人: | 姚偉忠 | 申請(專利權)人: | 常州億晶光電科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18;H01L21/677 |
| 代理公司: | 常州市維益專利事務所 32211 | 代理人: | 周祥生 |
| 地址: | 213200 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 太陽能電池 擴散 石英管 周轉 | ||
【技術領域】
本發(fā)明涉及一種太陽能電池的生產(chǎn)用裝置,尤其涉及太陽能電池擴散用石英管的周轉裝置。
【背景技術】
太陽能是一種輻射能,它必須借助于能量轉換器才能變換為電能。這個把太陽能轉換為電能的能量轉換器,就叫做太陽能電池。P-N結是晶體硅太陽能電池的核心部分,如果硅片沒有P-N結,就不能產(chǎn)生光電流,也就不能成為太陽能電池。而P-N結是通過擴散的形式實現(xiàn)的,在太陽能電池的制造中,硅片是含硼的P型物質(zhì),為了形成P-N結,需要對硅片進行摻雜磷元素,利用形成的內(nèi)電場,分離光生電子空穴,使其移動而形成電流。對硅片進行摻雜磷元素所用的設備是高溫擴散爐,目前使用最廣泛的高溫擴散爐為管式爐,管式爐主要用于氣相擴散,由于石英具有耐高溫、耐酸堿的特性,因此它被廣泛應用于管式高溫擴散爐中,擴散前通常使氮氣通入裝有液態(tài)POCl3(20~30℃)的石英管內(nèi),將POCl3攜帶入反應室,升溫至880℃~1100℃,進行摻雜。管式高溫擴散爐的反應環(huán)境比較干凈,無金屬污染,也可以在一批次中處理多個硅片。但在擴散過程中,會在石英管內(nèi)形成磷硅玻璃,在擴散結束后,必須清除石英管內(nèi)的磷硅玻璃。目前,在生產(chǎn)過程中石英管周轉都是靠人工搬運,由于管式擴散爐所用的石英管體積較大,人工搬運較為困難,加上石英管本身是易碎品,在搬運過程中,稍不小心就會將石英管碰破。同時,在擴散后的石英管內(nèi)還存有殘留酸、堿等腐蝕性很強的化學物質(zhì),若操作不當還會傷害操作人員。
【發(fā)明內(nèi)容】
為了克服上述缺點,本發(fā)明提供了一種太陽能電池擴散用石英管周轉車。采用這種周轉車不僅能夠實現(xiàn)石英管的輕松搬運,最大限度地減少搬運過程中造成使石英管破損,同時,能確保石英管中的化學殘留液不會損傷操作工人,保證生產(chǎn)順利進行。
本發(fā)明所采用的技術方案是:
所述太陽能電池擴散用石英管周轉車,其特征是:包括金屬車架、弧形支撐板、腳輪和集液槽,所述金屬車架由若干根橫向桿、豎直桿和寬度桿焊接而成的框架結構,其長度略小于石英管的長度,其寬度大于石英管的直徑;腳輪安裝在金屬車架的底部,集液槽安裝在金屬車架的一端;所述弧形支撐板為長方形板,其上邊為圓弧形,弧形支撐板的寬度與金屬車架的寬度相當,上邊圓弧的直徑略大于石英管的直徑,弧形支撐板間隔地固定安裝在金屬車架上,且靠近集液槽一端的弧形支撐板的高度略低于另一端弧形支撐板的高度,所述弧形支撐板上的圓弧邊為彈性軟質(zhì)材料。
進一步,弧形支撐板為木板,在圓弧邊上裝有軟質(zhì)防護層。
更進一步,所述軟質(zhì)防護層為耐酸堿的橡膠套。
本發(fā)明是專為電池擴散用的石英管設計的,有了這種太陽能電池擴散用石英管周轉車,弧形支撐板能夠將石英管穩(wěn)固放在金屬車架上,由于在弧形支撐板的圓弧上邊上設有軟質(zhì)防護層,金屬車架在推行中即使產(chǎn)生顛簸石英管也有軟質(zhì)防護層保護,它能防止石英管在推動過程中受到震動而破碎,集液槽可收集石英管內(nèi)殘留的酸堿溶液,能防止石英管內(nèi)殘留的化學溶液對操作人員的傷害。整體采用手推車結構能極大地降低操作者的搬運勞動強度,有利于提高工作效率,節(jié)約生產(chǎn)成本,采用這種周轉車不僅能夠實現(xiàn)石英管的輕松搬運,最大限度地減少搬運過程中造成使石英管破損,同時,能確保石英管中的化學殘留液不會損傷操作工人,保證生產(chǎn)順利進行。
【附圖說明】
圖1為本發(fā)明的結構示意圖;
圖2是金屬車架的一種結構示意圖;
圖3為軟質(zhì)防護層安裝在弧形支撐板的圓弧邊上的示意圖;
圖4主為石英管的示意圖;
圖中:1-金屬車架;2-弧形支撐板;3-腳輪;4-集液槽;5-石英管;6-軟質(zhì)防護層;11-橫向桿;12-豎直桿;13-寬度桿。
【具體實施方式】
下面結合附圖說明本發(fā)明的具體實施方式:
所述太陽能電池擴散用石英管周轉車,如圖1所示,它包括金屬車架1、三塊弧形支撐板2、六只腳輪3和一個集液槽4,所述金屬車架1由四根橫向桿11、六根豎直桿12和三根寬度桿13焊接成的框架結構,如圖2所示,金屬車架1的長度略小于石英管5的長度,金屬車架1的寬度大于石英管5的直徑;六只腳輪3安裝金屬車架1的底部,集液槽4安裝在金屬車架1的左端;所述弧形支撐板2為長方形的木質(zhì)板,木質(zhì)板的上邊為圓弧形,且上邊圓弧的直徑略大于石英管5的直徑,弧形支撐板2的寬度與金屬車架1的寬度相當,三塊弧形支撐板2間隔地固定安裝在金屬車架1上,靠近集液槽4一端的弧形支撐板2的高度略低于另一端弧形支撐板2的高度,即當石英管5放在三塊弧形支撐板2上時,靠近集液槽4一端略低于另一端;在弧形支撐板2的圓弧邊上裝有軟質(zhì)防護層6,所述軟質(zhì)防護層6為耐酸堿的橡膠套,如圖3所示。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發(fā)光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





