[發(fā)明專利]對準標記測量信號處理方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010177516.5
• 申請日: 2010-05-18
• 公開（公告）號: CN102253609A
• 公開（公告）日: 2011-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李運鋒;趙新;韓悅;韋學志
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00
• 代理公司: 北京連和連知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278
• 代理人: 王光輝

1.一種對準標記測量信號處理方法，其特征在于在利用對準系統(tǒng)對對準信號進行采樣后利用下述擬合模型進行信號擬合求解出最佳對準位置：

式中，I為光強，x為位置，a₀，a₁，Λ，a_i、b₀，b₁，Λ，b_j為模型系數(shù)，i，j為非負的整數(shù)，為相位，P為信號的周期；

利用光強和位置采樣，進行數(shù)值求解后確定模型系數(shù)a₀，a₁，Λ，a_i與b₀，b₁，Λ，b_j、信號周期P和相位的值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對準標記測量信號處理方法，其特征在于：所述數(shù)值求解方法采用逐次逼近方法。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的對準標記測量信號處理方法，其特征在于：所述逐次逼近方法采用高斯-牛頓法或麥夸脫法。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的對準標記測量信號處理方法，其特征在于：

在求解過程中首先給出模型系數(shù)a₀，a₁，Λ，a_i與b₀，b₁，Λ，b_j、信號周期P、相位的初始值a₀⁽⁰⁾，a₁⁽⁰⁾，Λ，a_i⁽⁰⁾、b₀⁽⁰⁾，b₁⁽⁰⁾，Λ，b_j⁽⁰⁾、P⁽⁰⁾、并在該初始值附近對擬合模型進行臺勞展開，略去二階及以上的高階項，轉(zhuǎn)化為對Δa_i、Δb_j、ΔP和的線性方程：

式中，

∂I∂aiΔai=xiΔai,i=0,1,2,Λ,]]>

Δa_i、Δb_j、ΔP和為真值與初始值之間的差，即：Δa_i＝a_i-a_i⁽⁰⁾、Δb_j＝b_j-b_j⁽⁰⁾、ΔP＝P-P⁽⁰⁾、

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的對準標記測量信號處理方法，其特征在于：a_i、b_j、的初始值由經(jīng)驗確定或隨機確定，信號的周期P的初始值根據(jù)所用的對準系統(tǒng)的設(shè)計參數(shù)確定。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的對準標記測量信號處理方法，其特征在于：利用最小二乘法進行反復迭代求解Δa_i、Δb_j、ΔP和直至算得的|Δa_i|、|Δb_j|、|ΔP|和小于各自的閾值。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的對準標記測量信號處理方法，其特征在于：所述閾值由經(jīng)驗確定，或根據(jù)經(jīng)過第一輪迭代更新后的a_i⁽⁰⁾、b_j⁽⁰⁾、P⁽⁰⁾、的值確定。