[發(fā)明專利]對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記測(cè)量信號(hào)處理方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010177516.5
• 申請(qǐng)日: 2010-05-18
• 公開（公告）號(hào): CN102253609A
• 公開（公告）日: 2011-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李運(yùn)鋒;趙新;韓悅;韋學(xué)志
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G03F9/00
• 分類號(hào): G03F9/00
• 代理公司: 北京連和連知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278
• 代理人: 王光輝

1.一種對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記測(cè)量信號(hào)處理方法，其特征在于在利用對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)對(duì)對(duì)準(zhǔn)信號(hào)進(jìn)行采樣后利用下述擬合模型進(jìn)行信號(hào)擬合求解出最佳對(duì)準(zhǔn)位置：

式中，I為光強(qiáng)，x為位置，a₀，a₁，Λ，a_i、b₀，b₁，Λ，b_j為模型系數(shù)，i，j為非負(fù)的整數(shù)，為相位，P為信號(hào)的周期；

利用光強(qiáng)和位置采樣，進(jìn)行數(shù)值求解后確定模型系數(shù)a₀，a₁，Λ，a_i與b₀，b₁，Λ，b_j、信號(hào)周期P和相位的值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記測(cè)量信號(hào)處理方法，其特征在于：所述數(shù)值求解方法采用逐次逼近方法。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記測(cè)量信號(hào)處理方法，其特征在于：所述逐次逼近方法采用高斯-牛頓法或麥夸脫法。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記測(cè)量信號(hào)處理方法，其特征在于：

在求解過程中首先給出模型系數(shù)a₀，a₁，Λ，a_i與b₀，b₁，Λ，b_j、信號(hào)周期P、相位的初始值a₀⁽⁰⁾，a₁⁽⁰⁾，Λ，a_i⁽⁰⁾、b₀⁽⁰⁾，b₁⁽⁰⁾，Λ，b_j⁽⁰⁾、P⁽⁰⁾、并在該初始值附近對(duì)擬合模型進(jìn)行臺(tái)勞展開，略去二階及以上的高階項(xiàng)，轉(zhuǎn)化為對(duì)Δa_i、Δb_j、ΔP和的線性方程：

式中，

∂I∂aiΔai=xiΔai,i=0,1,2,Λ,]]>

Δa_i、Δb_j、ΔP和為真值與初始值之間的差，即：Δa_i＝a_i-a_i⁽⁰⁾、Δb_j＝b_j-b_j⁽⁰⁾、ΔP＝P-P⁽⁰⁾、

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記測(cè)量信號(hào)處理方法，其特征在于：a_i、b_j、的初始值由經(jīng)驗(yàn)確定或隨機(jī)確定，信號(hào)的周期P的初始值根據(jù)所用的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)參數(shù)確定。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記測(cè)量信號(hào)處理方法，其特征在于：利用最小二乘法進(jìn)行反復(fù)迭代求解Δa_i、Δb_j、ΔP和直至算得的|Δa_i|、|Δb_j|、|ΔP|和小于各自的閾值。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記測(cè)量信號(hào)處理方法，其特征在于：所述閾值由經(jīng)驗(yàn)確定，或根據(jù)經(jīng)過第一輪迭代更新后的a_i⁽⁰⁾、b_j⁽⁰⁾、P⁽⁰⁾、的值確定。