[發(fā)明專利]對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記測(cè)量信號(hào)處理方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201010177516.5 | 申請(qǐng)日: | 2010-05-18 |
| 公開(公告)號(hào): | CN102253609A | 公開(公告)日: | 2011-11-23 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 李運(yùn)鋒;趙新;韓悅;韋學(xué)志 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號(hào): | G03F9/00 | 分類號(hào): | G03F9/00 |
| 代理公司: | 北京連和連知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278 | 代理人: | 王光輝 |
| 地址: | 201203 上海市浦*** | 國(guó)省代碼: | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 對(duì)準(zhǔn) 標(biāo)記 測(cè)量 信號(hào) 處理 方法 | ||
1.一種對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記測(cè)量信號(hào)處理方法,其特征在于在利用對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)對(duì)對(duì)準(zhǔn)信號(hào)進(jìn)行采樣后利用下述擬合模型進(jìn)行信號(hào)擬合求解出最佳對(duì)準(zhǔn)位置:
式中,I為光強(qiáng),x為位置,a0,a1,Λ,ai、b0,b1,Λ,bj為模型系數(shù),i,j為非負(fù)的整數(shù),為相位,P為信號(hào)的周期;
利用光強(qiáng)和位置采樣,進(jìn)行數(shù)值求解后確定模型系數(shù)a0,a1,Λ,ai與b0,b1,Λ,bj、信號(hào)周期P和相位的值。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記測(cè)量信號(hào)處理方法,其特征在于:所述數(shù)值求解方法采用逐次逼近方法。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記測(cè)量信號(hào)處理方法,其特征在于:所述逐次逼近方法采用高斯-牛頓法或麥夸脫法。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記測(cè)量信號(hào)處理方法,其特征在于:
在求解過程中首先給出模型系數(shù)a0,a1,Λ,ai與b0,b1,Λ,bj、信號(hào)周期P、相位的初始值a0(0),a1(0),Λ,ai(0)、b0(0),b1(0),Λ,bj(0)、P(0)、并在該初始值附近對(duì)擬合模型進(jìn)行臺(tái)勞展開,略去二階及以上的高階項(xiàng),轉(zhuǎn)化為對(duì)Δai、Δbj、ΔP和的線性方程:
式中,
Δai、Δbj、ΔP和為真值與初始值之間的差,即:Δai=ai-ai(0)、Δbj=bj-bj(0)、ΔP=P-P(0)、
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記測(cè)量信號(hào)處理方法,其特征在于:ai、bj、的初始值由經(jīng)驗(yàn)確定或隨機(jī)確定,信號(hào)的周期P的初始值根據(jù)所用的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)參數(shù)確定。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記測(cè)量信號(hào)處理方法,其特征在于:利用最小二乘法進(jìn)行反復(fù)迭代求解Δai、Δbj、ΔP和直至算得的|Δai|、|Δbj|、|ΔP|和小于各自的閾值。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記測(cè)量信號(hào)處理方法,其特征在于:所述閾值由經(jīng)驗(yàn)確定,或根據(jù)經(jīng)過第一輪迭代更新后的ai(0)、bj(0)、P(0)、的值確定。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于上海微電子裝備有限公司,未經(jīng)上海微電子裝備有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201010177516.5/1.html,轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記,對(duì)準(zhǔn)方法和對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
- 對(duì)準(zhǔn)裝置及對(duì)準(zhǔn)方法
- 對(duì)準(zhǔn)裝置、用于這樣的對(duì)準(zhǔn)裝置的對(duì)準(zhǔn)元件和對(duì)準(zhǔn)方法
- 對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記及其對(duì)準(zhǔn)方法
- 對(duì)準(zhǔn)裝置和對(duì)準(zhǔn)方法
- 對(duì)準(zhǔn)裝置及對(duì)準(zhǔn)方法
- 使用物理對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和虛擬對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)
- 使用物理對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和虛擬對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)
- 對(duì)準(zhǔn)裝置和對(duì)準(zhǔn)方法
- 對(duì)準(zhǔn)裝置及對(duì)準(zhǔn)方法
- 標(biāo)記裝置及標(biāo)記方法
- 同步數(shù)字體系網(wǎng)絡(luò)標(biāo)記交換的標(biāo)記處理方法
- 標(biāo)記裝置及標(biāo)記方法
- 標(biāo)記頭和標(biāo)記裝置
- 用于通過標(biāo)記光線標(biāo)記物體的標(biāo)記設(shè)備
- 標(biāo)記裝置以及標(biāo)記方法
- 標(biāo)記系統(tǒng)
- 激光標(biāo)記方法、激光標(biāo)記機(jī)及存儲(chǔ)介質(zhì)
- 用于標(biāo)記標(biāo)記對(duì)象的標(biāo)記系統(tǒng)
- 標(biāo)記方法及標(biāo)記裝置
- 測(cè)量設(shè)備、測(cè)量系統(tǒng)及測(cè)量方法
- 測(cè)量裝置、測(cè)量配件和測(cè)量方法
- 測(cè)量尺的測(cè)量組件及測(cè)量尺
- 測(cè)量輔助裝置、測(cè)量裝置和測(cè)量系統(tǒng)
- 測(cè)量觸頭、測(cè)量組件和測(cè)量裝置
- 測(cè)量觸頭、測(cè)量組件和測(cè)量裝置
- 測(cè)量容器、測(cè)量系統(tǒng)及測(cè)量方法
- 測(cè)量裝置、測(cè)量系統(tǒng)、測(cè)量程序以及測(cè)量方法
- 測(cè)量裝置、測(cè)量系統(tǒng)及測(cè)量方法
- 測(cè)量電路、測(cè)量方法及測(cè)量設(shè)備
- 信號(hào)調(diào)制方法、信號(hào)調(diào)制裝置、信號(hào)解調(diào)方法和信號(hào)解調(diào)裝置
- 亮度信號(hào)/色信號(hào)分離裝置和亮度信號(hào)/色信號(hào)分離方法
- 信號(hào)調(diào)制方法、信號(hào)調(diào)制裝置、信號(hào)解調(diào)方法和信號(hào)解調(diào)裝置
- 信號(hào)調(diào)制方法、信號(hào)調(diào)制裝置、信號(hào)解調(diào)方法和信號(hào)解調(diào)裝置
- 雙耳信號(hào)的信號(hào)生成
- 雙耳信號(hào)的信號(hào)生成
- 信號(hào)處理裝置、信號(hào)處理方法、信號(hào)處理程序
- USBTYPEC信號(hào)轉(zhuǎn)HDMI信號(hào)的信號(hào)轉(zhuǎn)換線
- 信號(hào)盒(信號(hào)轉(zhuǎn)換)
- 信號(hào)調(diào)制方法、信號(hào)調(diào)制裝置、信號(hào)解調(diào)方法和信號(hào)解調(diào)裝置





