[發明專利]一種鐵磁/反鐵磁多層膜釘扎材料及其制備方法

無效

• 申請號: 201010177285.8
• 申請日: 2010-05-19
• 公開（公告）號: CN101834053A
• 公開（公告）日: 2010-09-15
• 發明（設計）人: 代波;蔣慶林;邢永燕
• 申請（專利權）人: 西南科技大學
• 主分類號: H01F10/32
• 分類號: H01F10/32;H01F10/10;H01F41/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種鐵磁/反鐵磁多層膜釘扎材料，其特征是包括：

一基片，和在基片上依次設置的

一緩沖層，用于誘導織構的反鐵磁層；

一鐵磁層(I)，設置于緩沖層上；

一反鐵磁層，設置于鐵磁層(I)上；

一鐵磁層(II)，設置于反鐵磁層上；以及

一設置于鐵磁層(II)上的的保護層。

2.按權利要求1所述的鐵磁/反鐵磁多層膜釘扎材料，其特征是：所述反鐵磁層為錳系反鐵磁材料FeMn、NiMn、PtMn、PdMn或IrMn中的一種。

3.按權利要求1所述的鐵磁/反鐵磁多層膜釘扎材料，其特征是：

所述鐵磁層(I)為硬磁材料SmCo、FePt中的一種；

所述的鐵磁層(II)為軟磁材料NiFe、Co或CoFe中的一種。

4.按權利要求1所述的鐵磁/反鐵磁多層膜釘扎材料的制備方法，其特征是包括以下步驟：

a、采用真空沉積法，在基片上依次鍍上緩沖層、鐵磁層(I)、反鐵磁層、鐵磁層(II)和保護層，即制得釘扎材料的半成品；

b、將該釘扎材料的半成品，在一平行于樣品易軸方向的普通磁場強度的外加磁場下進行真空退火，退火后即獲得成品。

5.按權利要求4所述的鐵磁/反鐵磁多層膜釘扎材料的制備方法，其特征是：

所述步驟a的真空沉積法鍍層時，本底真空氣壓優于10^-4Pa，且惰性氣氛下的沉積工作氣壓為0.1～0.8Pa；

所述步驟b中的退火工藝的退火溫度為350～650℃、退火時間為0.5～5.0小時、本底真空優于10^-3Pa。

6.一種鐵磁/反鐵磁多層膜釘扎材料，其特征是包括：

基片，和在基片上依次設置的

緩沖層，用于誘導織構的反鐵磁層；

第一鐵磁層，設置于緩沖層上；

第一反鐵磁層，設置于第一鐵磁層上；

第二鐵磁層，設置于第一反鐵磁層上；

第二反鐵磁層，設置于第二鐵磁層上；以及

設置于第二反鐵磁層上的保護層。

7.按權利要求6所述的鐵磁/反鐵磁多層膜釘扎材料，其特征是：

所述第一反鐵磁層為NiO或錳系反鐵磁材料FeMn或IrMn中的一種；

所述第二反鐵磁層為錳系反鐵磁材料FeMn、NiMn、PtMn、PdMn或IrMn中的一種，或人工反鐵磁材料Co/Ru(t)/Co、CoFe/Ru(t)/CoFe、NiFe/Ru(t)/NiFe、或Co/Cu/Co中的一種。

8.按權利要求6所述的鐵磁/反鐵磁多層膜釘扎材料，其特征是：所述的第一鐵磁層和第二鐵磁層均為軟磁材料NiFe、Co或CoFe中的一種。

9.按權利要求6所述的鐵磁/反鐵磁多層膜釘扎材料的制備方法，其特征是包括以下步驟：

a、采用真空沉積法，在基片上依次鍍上緩沖層、第一鐵磁層、第一反鐵磁層、第二鐵磁層、第二反鐵磁層和保護層。

10.按權利要求9所述的鐵磁/反鐵磁多層膜釘扎材料的制備方法，其特征是：采用所述的真空沉積法鍍層時，本底真空氣壓壓力優于10^-4Pa，且惰性氣氛下的沉積工作氣壓為0.1～0.8Pa。