[發明專利]一種提高抽速及真空度的真空泵

無效

• 申請號: 201010177140.8
• 申請日: 2010-05-11
• 公開（公告）號: CN102242709A
• 公開（公告）日: 2011-11-16
• 發明（設計）人: 翟智勇;易先杰;張序洪;史艷
• 申請（專利權）人: 淄博特士德真空設備科技有限公司
• 主分類號: F04C18/14
• 分類號: F04C18/14;F04C25/02;F04C29/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明屬于泵技術領域，涉及一種提高抽速及真空度的真空泵。

背景技術

目前通用的真空泵結構示意圖2：其進氣排氣方式如下

??進氣??排氣??德國萊寶??P-F??B-C??中國朗禾??G-H??B-D

實際操作過程中很難實現其制定的爪泵標準。而德國萊寶其最終真空度可達到3-1Pa，其原因在轉子運轉到兩半圓交匯處時，排氣槽孔已關閉，進氣腔與排氣腔即將勾通，產生了一個盲區，氣在高轉速下，來不及排走的氣又回到真空腔，降低了真空度，也容易過載。如果有液體便產生了困液現象。

發明內容

本發明一種提高抽速及真空度的真空泵針對以上問題，提供一種能克服上述缺陷的真空泵。

解決本發明存在問題的技術方案是該一種提高抽速及真空度的真空泵包括第一級泵腔進氣，由第二級直接排除，壓差小，氣體流動過程中阻力小而不過載。第一級泵腔由轉子1、轉子2、進氣腔3、隔板槽4、隔板槽5、排氣腔6、主軸7、隔板8、殼體9、主軸10、轉子1爪11、轉子2爪12組成。轉子1、轉子2、進氣腔3、隔板槽4、隔板槽5、排氣腔6、主軸7、隔板8、主軸10、轉子1爪11、轉子2爪12位于殼體9內，進氣腔3位于轉子1、轉子2和殼體9之間，轉子1固定在主軸10上，轉子2固定在主軸7上，轉子1、轉子2在相應的泵腔中，相向反方向運轉，轉子1爪11與轉子1相連接，轉子2爪12與轉子2相連接，轉子1、轉子2、進氣腔3、隔板槽4、隔板槽5、排氣腔6位于隔板8上，排氣腔6位于轉子1和轉子2之間，隔板槽5位于主軸10一側轉子2下方，隔板槽4位于主軸7一側轉子1下方，隔板槽4通過隔板8上的氣道與隔板槽5相連接，轉子2爪12的寬度由傳統真空泵爪的25單位寬度變為60單位寬度，轉子1爪11的寬度由傳統真空泵爪的25單位寬度變為60單位寬度，當轉子1、轉子2運轉到泵腔兩半圓交匯處時排氣腔6變得極小，擠壓氣能力增強，同時改變了氣道使排氣槽沒有關閉，進氣槽也處于開放狀態，氣體由隔板槽4通過氣道進入隔板槽5，在隔板下方進入下一級進氣腔內。第二級泵腔組成、結構和連接與第一級泵腔相同，第二級泵腔的進氣是通過第一級泵腔的隔板槽5下方進入。

本發明一種提高抽速及真空度的真空泵與目前通用的真空泵進氣方式比較如下