[發明專利]卷對卷式圖案化裝置和具有該圖案化裝置的圖案化系統

有效

• 申請號: 201010175660.5
• 申請日: 2010-05-05
• 公開（公告）號: CN101879498A
• 公開（公告）日: 2010-11-10
• 發明（設計）人: 趙暎泰;權信;金基賢;徐正祐;金東民;金楨吉
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: B05C9/12
• 分類號: B05C9/12;B05D3/06
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 韓明星;劉奕晴

技術領域

本發明的實施例涉及一種卷對卷式圖案化裝置和具有該卷對卷式圖案化裝置的圖案化系統，用于在薄膜構件上形成圖案化涂層。

背景技術

通常，設計卷對卷式圖案化裝置以用于在柔性材料的薄膜構件上形成圖案化涂層。使用所述卷對卷式圖案化裝置的圖案化系統除了包括所述卷對卷式圖案化裝置之外，還包括：供應卷軸，用于給卷對卷式圖案化裝置提供薄膜構件；回收卷軸，用于對其上已通過卷對卷式圖案化裝置完全形成涂層的薄膜構件進行回收。所述卷對卷式圖案化裝置用于在在所述供應卷軸和所述回收卷軸之間運動的薄膜構件上形成圖案化涂層。

所述卷對卷式圖案化裝置包括：圖案輥，圖案輥的外圓周表面形成有將被形成在涂層上的圖案；樹脂供應設備，提供用于在所述圖案輥和所述薄膜構件之間形成涂層的樹脂；壓輥，將薄膜構件壓抵圖案輥以在薄膜構件的樹脂上形成圖案。

在上述卷對卷式圖案化裝置中，盡管如此，在形成圖案化涂層期間，在作用在薄膜構件上的熱和力的作用下，薄膜構件會容易發生變形。當薄膜構件發生變形時，在準確的位置形成具有期望形狀的圖案可以說是困難的。因此，使用傳統的卷對卷式圖案化裝置難以形成準確的圖案化涂層。

發明內容

因此，本發明的一方面在于提供一種卷對卷式圖案化裝置和具有該卷對卷式圖案化裝置的圖案化系統，其中，可在薄膜構件上形成更加準確的圖案化涂層。

對于本發明的其他方面，一部分將在下面的描述中進行闡述，一部分將通過描述而清楚，或者可以通過實施本發明而理解。

根據本發明的一方面，卷對卷式圖案化裝置包括：圖案輥，其外圓周表面形成有與將要形成在薄膜構件上的涂層的圖案相應的圖案；多個壓輥，使薄膜構件壓抵所述圖案輥；對齊輥，其在沿著薄膜構件的運動方向的上游位置與所述圖案輥相對并隔開，用于對齊進入所述圖案輥和所述多個壓輥之間的薄膜構件。

所述對齊輥可沿著與所述圖案輥軸線平行的方向布置，以使所述對齊輥反復地移向所述圖案輥或遠離所述圖案輥，并且所述對齊輥能夠相對于所述圖案輥傾斜預定的角度。

所述卷對卷式圖案化裝置還可包括：樹脂供應設備，將樹脂供應到所述圖案輥和薄膜構件之間；固化設備，使樹脂固化在薄膜構件上。

所述樹脂可包括光固化樹脂；所述固化設備可包括光源，光源將光照射到光固化樹脂上來固化樹脂。

所述卷對卷式圖案化裝置還可包括：樹脂供應設備，將光固化樹脂供應到所述圖案輥和薄膜構件之間；光源，將光照射到光固化樹脂上來固化樹脂。

所述光源可將光照射到通過所述多個壓輥中沿著薄膜構件的運動方向位于最下游位置的一對壓輥之間的薄膜構件上。

所述卷對卷式圖案化裝置還可包括：局部固化設備，所述局部固化設備在光源固化光固化樹脂之前僅僅固化薄膜構件上的部分光固化樹脂。

所述局部固化設備可包括：輔助光源，將光照射到在薄膜構件上的光固化樹脂上；防護膜，阻擋從輔助光源發出的一部分光。

所述防護膜可被纏繞在所述對齊輥上以及所述多個壓輥中沿著薄膜構件的運動方向位于最上游位置的一個壓輥上；輔助光源，可通過所述防護膜將光照射到在所述對齊輥和沿著薄膜構件的運動方向位于最上游位置的壓輥之間運動的薄膜構件上的光固化樹脂上。

所述防護膜可被纏繞在所述多個壓輥中沿著薄膜構件的運動方向位于最上游位置的一對壓輥上；輔助光源可將光照射到通過在所述多個壓輥中沿著薄膜構件的運動方向位于最上游位置的一對壓輥之間的薄膜構件上的光固化樹脂上。

所述防護膜可包括：防護部分，設置在所述防護膜的寬度方向的中央，用于阻擋從輔助光源發出的光；透射部分，設置在所述防護部分的寬度方向的兩側，用于透射光。所述圖案輥的外圓周表面可設有多個第一對齊標志，所述多個第一對齊標志沿圓周方向彼此之間等距離隔開；薄膜構件可設有多個第二對齊標志，所述多個第二對齊標志沿縱向彼此之間等距離隔開；所述卷對卷式圖案化裝置還可包括多個感測裝置，用于感測所述第一對齊標志和所述第二對齊標志。

所述多個感測裝置可同時感測所述多個第一對齊標志中的任何一個和所述多個第二對齊標志中的任何一個。

所述多個感測裝置可包括：第一感測裝置，用于感測所述多個第一對齊標志中的任何一個；第二感測裝置，用于感測所述多個第二對齊標志中的任何一個。

所述多個感測裝置可包括照相機，用于識別圖像信息。所述多個第一對齊標志可被設置在所述圖案輥的外圓周表面兩端；所述多個第二對齊標志可被設置在薄膜構件的寬度方向的兩側。