[發(fā)明專利]一種基板周轉(zhuǎn)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010173553.9
• 申請(qǐng)日: 2010-05-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101859673A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-10-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王士敏;郭元元;陳雄達(dá);商陸平;李紹宗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳萊寶高科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01J9/233
• 分類號(hào): H01J9/233;H01J9/46
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種基板周轉(zhuǎn)裝置，用于周轉(zhuǎn)襯底，其包括本體，所述本體包括側(cè)壁和基底，所述側(cè)壁與基底圍成一呈一側(cè)開(kāi)口的空間，所述側(cè)壁內(nèi)部的相對(duì)兩側(cè)上形成有多條支撐槽，所述基底靠所述側(cè)壁的一側(cè)形成輔助結(jié)構(gòu)，該輔助結(jié)構(gòu)截所述多條支撐槽，使位于同一側(cè)壁上的至少一條支撐槽與其它支撐槽的長(zhǎng)度不一致，且位于側(cè)壁的相對(duì)兩側(cè)上相對(duì)應(yīng)的支撐槽的長(zhǎng)度一致。

2.如權(quán)利要求1所述的基板周轉(zhuǎn)裝置，其特征在于：所述輔助結(jié)構(gòu)為一斜面，且所述斜面與所述多條支撐槽相垂直，使位于同一側(cè)的多條所述支撐槽的長(zhǎng)度不一致，位于所述相對(duì)兩側(cè)相對(duì)應(yīng)的支撐槽的長(zhǎng)度相同。

3.如權(quán)利要求1所述的基板周轉(zhuǎn)裝置，其特征在于：所述輔助結(jié)構(gòu)為兩斜面相交形成的凸起，所述兩斜面與所述多條支撐槽垂直，使位于同一側(cè)的多條與同一斜面相交的所述支撐槽的長(zhǎng)度不一致，位于所述相對(duì)兩側(cè)相對(duì)應(yīng)的支撐槽的長(zhǎng)度相同。

4.如權(quán)利要求1所述的基板周轉(zhuǎn)裝置，其特征在于：所述輔助結(jié)構(gòu)為臺(tái)階結(jié)構(gòu)，所述臺(tái)階結(jié)構(gòu)與所述多條支撐槽相垂直，使位于同一側(cè)不同臺(tái)階的多條所述支撐槽的長(zhǎng)度不一致，位于所述相對(duì)兩側(cè)相對(duì)應(yīng)的支撐槽的長(zhǎng)度相同。

5.如權(quán)利要求1所述的基板周轉(zhuǎn)裝置，其特征在于：所述基板周轉(zhuǎn)裝置整體呈方形，其還包括蓋體，所述蓋體可分離地與所述本體結(jié)合在一起。

6.如權(quán)利要求5所述的基板周轉(zhuǎn)裝置，其特征在于：所述本體和蓋體均呈方形，其內(nèi)部均呈中空狀，且所述本體和蓋體結(jié)合后形成一同一的收容空間，所述空間為所述收容空間的一部分。

7.如權(quán)利要求5所述的基板周轉(zhuǎn)裝置，其特征在于：所述蓋體與所述本體相對(duì)應(yīng)的側(cè)壁上形成與所述本體上的支撐槽對(duì)應(yīng)的多條支撐槽，所述本體和蓋體上相對(duì)應(yīng)的支撐槽的長(zhǎng)度之和，大于或等于所述襯底在該方向上的高度。

8.如權(quán)利要求1所述的基板周轉(zhuǎn)裝置，其特征在于：所述長(zhǎng)度不一致的支撐槽與其它支撐槽之間的長(zhǎng)度差小于或等于所述襯底在所述支撐槽延伸方向上的長(zhǎng)度的1/3。