[發明專利]硅基麥克風有效
| 申請號： | 201010173213.6 | 申請日： | 2010-05-10 |
| 公開（公告）號： | CN101835080A | 公開（公告）日： | 2010-09-15 |
| 發明（設計）人： | 葛舟 | 申請（專利權）人： | 瑞聲聲學科技(深圳)有限公司;瑞聲微電子科技(常州)有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518057 廣東省深圳*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 麥克風 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅基麥克風，包括基底、與基底相連的阻擋層、與阻擋層連接的振膜，在基底和阻擋層的中心設有貫穿二者的空腔，所述振膜包括與阻擋層相連的邊緣部和由邊緣部圍繞的振動主體，其特征在于：所述振膜的邊緣部包括與阻擋層相連的高應力的氮化硅層和與氮化硅層相連的低應力的多晶硅層，所述振膜的振動主體僅包括低應力的多晶硅層。
2.根據權利要求1所述的硅基麥克風，其特征在于：所述振膜的邊緣部還設有間隙。
3.根據權利要求1所述的硅基麥克風，其特征在于：所述振膜的振動主體為圓形。
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